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다이아프램 구조를 이용한 탄소나노튜브 가스 센서의 가스 감응 특성
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  • 다이아프램 구조를 이용한 탄소나노튜브 가스 센서의 가스 감응 특성
저자명
조우성,문승일,김영조,박정호,주병권,Cho. Woo-Sung,Moon. Seung-Il,Kim. Young-Cho,Park. Jung-Ho,Ju. Byeong-Kwon
간행물명
센서학회지
권/호정보
2006년|15권 1호|pp.13-19 (7 pages)
발행정보
한국센서학회
파일정보
정기간행물|
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주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The micro-gas sensor based on carbon nanotubes (CNTs) was fabricated and its gas sensing characteristics on nitrogen dioxide ($NO_{2}$) have been investigated. The sensor consists of a heater, an insulating layer, a pair of contact electrodes, and CNT-sensing film on a micromachined diaphragm. The heater plays a role in the temperature change to modify sensor operation. Gas sensor responses of CNT-film to $NO_{2}$ at room temperature are reported. The sensor exhibits a reversible response with a time constant of a few minutes at thermal treatment temperature of $130^{circ}C$.