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Ar-Kr 혼합가스를 이용한 OLED용 Al 전극 제작
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  • Ar-Kr 혼합가스를 이용한 OLED용 Al 전극 제작
  • Preparation of Al electrode with Ar-Kr gas mixture for OLED application
저자명
김상모,장경욱,이원재,김경환,Kim. Sang-Mo,Jang. Kyung-Wook,Lee. Won-Jae,Kim. Kyung-Hwan
간행물명
반도체및디스플레이장비학회지
권/호정보
2007년|6권 4호|pp.11-15 (5 pages)
발행정보
한국반도체및디스플레이장비학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

As preparing electrode for the OLED with the sputtering process, in order to be lower damage of the bottom organic layer and increase the life-time of the OLED, we prepared Al electrode for that by using Facing Targets Sputtering (FTS) system. Al electrode directly deposited on the cell (LiF/EML/HTL/Bottom electrode). Deposition condition was the working gas (Ar, Kr and Ar+Kr) and working gas pressure (1 and 6 mTorr). The film thickness and I-V curve of Al/cell were evaluated by a $acute{a}$-step profiler and a semiconductor parameter (HP4156A) measurement. The thin film surface image was observed by a Atomic Force Microscope (AFM). In result, in comparison with about 11 [V] of the turn-on voltage of Al/cell with using the pure Ar gas, when Al thin film was deposited using the Ar-Kr mixture gas, the surface morphology was improved in some region and the turn-on voltage of Al/cell could be decreased to about 7 [V].

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