- Development of Active Vibration Isolation Equipments Using Fuzzy Method
- Development of Active Vibration Isolation Equipments Using Fuzzy Method
- ㆍ 저자명
- Rim. Kyung-Hwa,Yang. Xun,An. Chae-Hun,Jin. Kyoung-Bog
- ㆍ 간행물명
- 반도체및디스플레이장비학회지
- ㆍ 권/호정보
- 2007년|6권 4호|pp.17-22 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국반도체및디스플레이장비학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물|ENG| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
