- 습식화학법을 이용한 고순도 석영유리 기판 제조 및 특성평가
- Preparation and Characterization of High-purity Quartz Panel Using Wet-chemical Method
- ㆍ 저자명
- 박성은,남병욱,안정숙,신지식,오한석,Park. Sung-Eun,Nam. Byeong-Uk,An. Jung-Sook,Shin. Ji-Shik,Oh. Han-Seog
- ㆍ 간행물명
- 반도체및디스플레이장비학회지
- ㆍ 권/호정보
- 2007년|6권 4호|pp.33-38 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국반도체및디스플레이장비학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
