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OLED 증착용 서큘러소스의 열적성능 해석
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  • OLED 증착용 서큘러소스의 열적성능 해석
  • Thermal Performance Analysis of Circular Source for OLED Vapor Deposition
저자명
주영철,한충환,엄태준,이상욱,김국원,Joo. Young-Cheol,Han. Choong-Hwan,Um. Tai-Joon,Lee. Sang-Wook,Kim. Kug-Weon
간행물명
반도체및디스플레이장비학회지
권/호정보
2007년|6권 4호|pp.39-42 (4 pages)
발행정보
한국반도체및디스플레이장비학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Temperature distribution of the circular heat source was studied by analyzing the heat transfer of the environment of the circular source for OLED. Circular nozzle source was used to fabricate thin organic layer as the organic material in it was heated, vaporized and deposited to the large size panel. A modified heater structure of circular source has been suggested. The results of numerical analysis shows that the modified heater structure can use 15% more powder in a batch than the original heater structure does. Moreover, the modified heater structure can improve the uniformity of organic vapor deposition by controlling the temperature.