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연속 reel-to-reel 공정을 이용한 IBAD-MgO template 제조
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  • 연속 reel-to-reel 공정을 이용한 IBAD-MgO template 제조
저자명
고경필,하홍수,김호겸,유권국,고락길,문승현,오상수,유상임,Ko. K.P.,Ha. H.S.,Kim. H.K.,Yu. K.K.,Ko. R.K.,Moon. S.H.,Oh. S.S.,Yoo. S.I.
간행물명
한국초전도·저온공학회논문지
권/호정보
2007년|9권 1호|pp.18-21 (4 pages)
발행정보
한국초전도저온공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Highly textured MgO template by ion-beam-assisted deposition(IBAD) was successfully fabricated using a continuous reel-to-reel(R2R) mode. To enlarge the deposition area, the previous IBAD system was modified into the system with 14-pass and five heating zone. Every processing step was carried out using this multi-turn IBAD system. The overall process consists of R2R electropolishing of a hastelloy C276 tape, deposition of $Al_2O_3$ diffusion barrier, $Y_2O_3$ seed layer, IBAD-MgO and homoepi-MgO layer. The IBAD-MgO templates were fabricated using the IBAD system with 216 cm-length deposition zone and 32 cm diameter ion source. The texture of MgO films developed during the IBAD process was monitored by in-situ reflection high energy electron diffraction(RHEED) to optimize the IBAD process. Recently, 100 m long IBAD-MgO tape with in-plane texture of $Delta{phi}<10^{circ}$ was successfully fabricated using the modified IBAD system. In this report, the detailed deposition condition of getting a long length IBAD-MgO template with a good epitaxy is described.