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고정밀 얼라인을 위한 하이브리드 조작 장치의 개발
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  • 고정밀 얼라인을 위한 하이브리드 조작 장치의 개발
  • Development of a Hybrid Substrate Handler for Precision Alignment
저자명
이동은,김숙한,이응기,Lee. Dong-Eun,Kim. Sook-Han,Lee. Eung-Ki
간행물명
반도체및디스플레이장비학회지
권/호정보
2007년|6권 1호|pp.1-6 (6 pages)
발행정보
한국반도체및디스플레이장비학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In order to raise productivity of the OLED and realization of the OLED TV, the enlargement of the mother glass substrate is required. The large-size glass substrate has some difficulties regarding its deflection during handling operation due to its thin thickness (0.5$sim$0.7t) which is not even enough to stand its mass itself. This paper is demonstrating a new solution of this difficult through clamping and bending boundary condition, which helps to minimize the deflection of the glass substrate. Based on the developed method, the experiments had been done for verifying the proposed method to minimize the glass-deflection. With the developed method, the new design of glass substrate handler can be proposed to allow the large OLED displays be manufactured.