기관회원 [로그인]
소속기관에서 받은 아이디, 비밀번호를 입력해 주세요.
개인회원 [로그인]

비회원 구매시 입력하신 핸드폰번호를 입력해 주세요.
본인 인증 후 구매내역을 확인하실 수 있습니다.

회원가입
서지반출
접촉형 변위센서를 이용한 LCD노광기용 스테이지 시스템
[STEP1]서지반출 형식 선택
파일형식
@
서지도구
SNS
기타
[STEP2]서지반출 정보 선택
  • 제목
  • URL
돌아가기
확인
취소
  • 접촉형 변위센서를 이용한 LCD노광기용 스테이지 시스템
  • Stage System for LCD Exposure Equipment Using Touch-type Displacement Sensor
저자명
임광국,서화일,조현찬,김광선,강흥석,Yim. Kwang-Kuk,Seo. Hwa-Il,Cho. Hyun-Chan,Kim. Kwang-Sun,Kang. Heung-Seok
간행물명
반도체및디스플레이장비학회지
권/호정보
2007년|6권 1호|pp.7-10 (4 pages)
발행정보
한국반도체및디스플레이장비학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
서지반출

기타언어초록

In an effort to reduce weaknesses of existing laser displacement sensor-based system, a sensing device for distance and balance of mask-substrate gap using touch-type displacement sensor was suggested. The device suggested in this study is expected to solve the problems of prices and reflections, by means of a touch-type sensor. LCD exposure equipment stage system including suggested sensing device was realized to assess the characteristics of sensing the balance and gap between mask and substrate. It was verified that a touch-type displacement sensor-based device to adjust the balance and distance of mask-substrate gap suggested in this study can be applicable to LCD expose equipment in practice.