- 접촉형 변위센서를 이용한 LCD노광기용 스테이지 시스템
- Stage System for LCD Exposure Equipment Using Touch-type Displacement Sensor
- ㆍ 저자명
- 임광국,서화일,조현찬,김광선,강흥석,Yim. Kwang-Kuk,Seo. Hwa-Il,Cho. Hyun-Chan,Kim. Kwang-Sun,Kang. Heung-Seok
- ㆍ 간행물명
- 반도체및디스플레이장비학회지
- ㆍ 권/호정보
- 2007년|6권 1호|pp.7-10 (4 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국반도체및디스플레이장비학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
