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PTFE 및 W 첨가가 Ni-P 도금의 내마모 특성에 미치는 영향
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  • PTFE 및 W 첨가가 Ni-P 도금의 내마모 특성에 미치는 영향
  • Effects of PTFE and W Addition on the Anti-Wear Properties of Ni-P Coatings
저자명
김명식,홍진원,배규식,Kim. Myung-Sik,Hong. Jin-Won,Bae. Kyoo-Sik
간행물명
반도체및디스플레이장비학회지
권/호정보
2007년|6권 2호|pp.25-28 (4 pages)
발행정보
한국반도체및디스플레이장비학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Electroless Ni-P coating is widely used for chemical, electronic, and semiconductor equipment parts because of its corrosion resistance. The incorporation of chemically-inert PTFE particles into the Ni-P films improves properties such as, non-stick, anti-adhesive and better corrosion resistance. However, soft PTFE particles degrade the hardness, wear and abrasion resistance. In this study, effects of PTFE and W addition to the Ni-P-coatings were compared by the XRD, SEM, sheet resistance, contact angle, and microhardness measurements. The change in sheet resistance was negligible, but contact angle was doubled by the addition of PTFE and W. The microhardness was lower for Ni-P-PTFE, but higher for Ni-P-PTFE-W coatings, compared to that of Ni-P coatings.