- 400 kHz 페라이트 유도 결합 플라즈마를 위한 임피던스 매칭 네트워크
- ㆍ 저자명
- 조성원,방진영,이영광,정진욱,Cho. Sung-Won,Bang. Jin-Young,Lee. Young-Kwang,Chung. Chin-Wook
- ㆍ 간행물명
- 반도체및디스플레이장비학회지
- ㆍ 권/호정보
- 2007년|6권 2호|pp.29-33 (5 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국반도체및디스플레이장비학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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