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400 kHz 페라이트 유도 결합 플라즈마를 위한 임피던스 매칭 네트워크
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  • 400 kHz 페라이트 유도 결합 플라즈마를 위한 임피던스 매칭 네트워크
저자명
조성원,방진영,이영광,정진욱,Cho. Sung-Won,Bang. Jin-Young,Lee. Young-Kwang,Chung. Chin-Wook
간행물명
반도체및디스플레이장비학회지
권/호정보
2007년|6권 2호|pp.29-33 (5 pages)
발행정보
한국반도체및디스플레이장비학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Low frequency (400 kHz) Ferrite ICP has been proposed for large area processing. Because the coupling coefficient is close to 1, the transformer matching can be adapted to Ferrite ICP. The transformer matching system is simple. In this paper the new matching system by controlling the turns of transformer using relays is proposed for impedance matching. We developed a simple matching system and characterized it when the turns were changed. It was observed that the 2-channel relay is available for transformer matching.