- 펄스식 극저온 $CO_2$ 세정공정의 공정변수에 따른 인자 최적화
- ㆍ 저자명
- 이성훈,이주홍,김필기,석종혁,오병준,석종원,Lee. Seong-Hoon,Lee. Ju-Hong,Kim. Pil-Kee,Seok. Jong-Hyuk,Oh. Byung-Joon,Seok. Jong-Won
- ㆍ 간행물명
- 한국정밀공학회지
- ㆍ 권/호정보
- 2008년|25권 6호|pp.13-19 (7 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국정밀공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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