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Sol-Gel법에서 Pb의 농도가 PbZrO3 박막 결정에 미치는 영향
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  • Sol-Gel법에서 Pb의 농도가 PbZrO3 박막 결정에 미치는 영향
저자명
배세환,진병문,김성대,Bae. Se-Hwan,Jin. Byung-Moon,Kim. Sung-Dae
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2008년|21권 6호|pp.552-555 (4 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The purpose of this study was to find a best condition of fabricating lead zirconate thin film by sol-gel method, especially to find mol ratio and post annealing temperature. Lead zirconate thin film was made by spin coating method. The ratios of Pb and Zr of precursors were 1:0.8, 1:1.0, and 1:1.2. Annealing temperature of films were $600^{circ}C$, $700^{circ}C$, and $800^{circ}C$ for 1 minute. Crystal structure was observed from XRD and antiferroelectricity was observed from hysteresis curves. The optimum mol ratio of Pb:Zr is 1:0.8 and annealing temperature is $800^{circ}C$.