기관회원 [로그인]
소속기관에서 받은 아이디, 비밀번호를 입력해 주세요.
개인회원 [로그인]

비회원 구매시 입력하신 핸드폰번호를 입력해 주세요.
본인 인증 후 구매내역을 확인하실 수 있습니다.

회원가입
서지반출
물성변화에 따른 압전형 마이크로스피커의 특성
[STEP1]서지반출 형식 선택
파일형식
@
서지도구
SNS
기타
[STEP2]서지반출 정보 선택
  • 제목
  • URL
돌아가기
확인
취소
  • 물성변화에 따른 압전형 마이크로스피커의 특성
저자명
정경식,조희찬,이승환,Jeong. Kyong-Shik,Cho. Hee-Chan,Yi. Seung-Hwan
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2008년|21권 6호|pp.556-561 (6 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
서지반출

기타언어초록

This paper reports the characteristics of piezoelectric microspeakers that are audible in open air with high quality piezoelectric AlN thin film according to the materials properties. When we use a tensile-stressed silicon nitride diaphragm as a supporting layer, the Sound Pressure Level (SPL) is relatively small and constant at low frequency region and shows about 70 dB at 10 kHz. However, in case of a compressively stressed composite diaphragm, the SPL of the fabricated microspeakers shows higher output pressure than those of a tensile-stressed diaphragm. It produces more than 66 dB from 100 Hz to 15 kHz and the highest SPL is about 100 dB at 9.3 kHz with $20V_{peak-to-peak}$, sinusoidal input biases and at 10 mm distances from the fabricated microspeakers to the reference microphone. From the experimental results, it is superior to have a compressively composite diaphragm in order to produce a high SPL in piezoelectric microspeaker.