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IBAD-MgO 기판 위 다양한 완충층들의 비교 연구
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  • IBAD-MgO 기판 위 다양한 완충층들의 비교 연구
저자명
고경필,장기선,유상임,오상수,고락길,문승현,김호겸,Ko. K.P.,Jang. K.S.,Yoo. S.I.,Oh. S.S.,Ko. R.K.,Moon. S.H.,Kim. H.K.
간행물명
한국초전도·저온공학회논문지
권/호정보
2008년|10권 3호|pp.5-8 (4 pages)
발행정보
한국초전도저온공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

On highly-textured IBAD-MgO templates, we have tried to find proper buffer layers among various candidate materials, including $LaMnO_3$ (LMO), $La_2Zr_2O_7$ (LAO), $LaAlO_3$ (LAO), $LaGaO_3$ (LGO), $NdGaO_3$ (NGO), and $BaZrO_3$ (BZO). All buffer layers were deposited on the IBAD-MgO templates by KrF pulsed laser deposition(PLD). LAO layer showed an armorphous phase. LZO, LGO, and NGO layers showed polycrystalline growth. Only LMO and BZO layers exhibited c-axis oriented biaxially textured films. Optimally processed LMO buffer layer at deposition temperature of $750^{circ}C$ and $PO_2$ of 100mTorr exhibited ${ riangle}{phi}$ value of ${sim}-5.2^{circ}$ and RMS roughness of 5.6nm. Interestingly, BZO buffer layers with ${ riangle}{phi}$ values of ${sim}-6^{circ}$ could be routinely produced over a wide PLD processing condition.