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Fabrication of Large-area Micro-lens Arrays with Fast Tool Control
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  • Fabrication of Large-area Micro-lens Arrays with Fast Tool Control
  • Fabrication of Large-area Micro-lens Arrays with Fast Tool Control
저자명
Noh. Young-Jin,Arai. Yoshikazu,Tano. Makoto,Gao. Wei
간행물명
International journal of precision engineering and manufacturing
권/호정보
2008년|9권 4호|pp.32-38 (7 pages)
발행정보
한국정밀공학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

This paper describes a fast tool control (FTC)-based diamond turning process for fabricating large-area high-quality micro-lens arrays. The developed FTC unit has a stroke of $48{mu}m$ and a resonance frequency of 4.9 kHz. Micro-lens arrays were fabricated using a micro-cutting tool with a nose radius of $50{mu}m$. The FTC unit was integrated with a force sensor so that the initial position of the micro-cutting tool with respect to the workpiece surface could be detected through monitoring the contacting force. The length and depth of the designed parabolic micro-lens profile were $190{mu}m$ and $20{mu}m$, respectively. A micro-lens array was fabricated on a cylinder surface over an area of ${phi}55 mm{ imes}40 mm$.