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차량 내 탑승자 상태 인식용 적외선 센서의 제조 및 특성
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  • 차량 내 탑승자 상태 인식용 적외선 센서의 제조 및 특성
저자명
이성현,남태운,Lee. Sung-Hyun,Nam. Tae-Woon
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2009년|22권 3호|pp.222-229 (8 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

A noble infrared sensor was studied for passenger conditional detection in vehicle, This research relates to uncooled infrared sensors for detecting the presence, type and temperature of occupants in vehicle. It sense that the occupants purpose to control the smart airbag for safety in the case of adult or child and to control the automatic air conditioning for convenience. This paper described the design and the fabrication of microbolometers which were composed of 2 by 8 elements using the surface micromachining technology. The characteristics of the array were investigated in the spectral region of $8{sim}12{mu}m$. The fabricated detectors exhibited the thermal mass of $7.05{ imes}10^{-9};J/K$, the thermal conductance of $1.03{ imes}10^{-6};W/K$, the thermal time constant of 6.8 ms, the responsivity of $2.96{ imes}10^4;V/W$ and the detectivity of $1.01{ imes}10^9;cmHz^{1/2}/W$, at the chopper frequency of 10 Hz and the bias current of $4.4{mu}A$. We could successfully detect the human body condition in the divided zone. As a results, we concluded that microbolometer optimized in this research could be useful for the application of passenger conditional detection in vehicle.