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ZnO/나노결정다이아몬드 적층 박막 SAW 필터
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  • ZnO/나노결정다이아몬드 적층 박막 SAW 필터
저자명
정두영,강찬형,Jung. Doo-Young,Kang. Chan-Hyoung
간행물명
한국표면공학회지
권/호정보
2009년|42권 5호|pp.216-219 (4 pages)
발행정보
한국표면공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

A surface acoustic wave (SAW) filter structure was fabricated employing $4{mu}m$ thick nanocrystalline diamond (NCD) and $2.2{mu}m$ thick ZnO films on Si wafer. The NCD film was deposited in an $Ar/CH_4$ gas mixture by microwave plasma chemical vapor deposition method. The ZnO film was formed over the NCD film in an RF magnetron sputter using ZnO target and $Ar/O_2$ gas. On the top of the two layers, copper film was deposited by the RF sputter and inter digital transducer (IDT) electrode pattern (line/space : $1.5/1.5{mu}m$) was defined by the photolithography including a lift-off etching process. The fabricated SAW filter exhibited the center frequency of 1.66 GHz and the phase velocity of 9,960 m/s, which demonstrated that a giga Hertz SAW filter can be realized by utilizing the nanocrystalline diamond thin film.