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Oxygen 함량에 따른 Cr-O-N 코팅막의 미세구조 및 기계적 특성에 관한 연구
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  • Oxygen 함량에 따른 Cr-O-N 코팅막의 미세구조 및 기계적 특성에 관한 연구
저자명
윤준서,권세훈,박인욱,이정두,김광호,Yun. Jun-Seo,Kwon. Se-Hun,Park. In-Wook,Lee. Jeong-Du,Kim. Kwang-Ho
간행물명
한국표면공학회지
권/호정보
2009년|42권 5호|pp.220-226 (7 pages)
발행정보
한국표면공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Cr-O-N coatings having different oxygen contents were deposited on Si wafer and SUS 304 substrates by an arc ion plating technique using Cr target in $Ar/O_2/N_2$ gaseous atmosphere. As increasing oxygen content in the coating, the microstructure of Cr-O-N coating changed from polycrystalline having NaCl structure to amorphous structure. Further increase of oxygen content resulted in phase transformation from amorphous to rhombohedral structure. From the variations of d value and average grain size, it was revealed that the maximum solubility of oxygen in Cr-O-N coating was about 21 at.%. And the maximum micro-hardness of 2751HK was obtained in this composition. The lowest friction coefficient was measured in the coating having 34.8 at.% of oxygen. However, more narrow width of wear track was found in the coating having 30.1 at.% of oxygen.