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Control of Glass Infiltration at the Al2O3/Glass/Al2O3 Interface
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  • Control of Glass Infiltration at the Al2O3/Glass/Al2O3 Interface
  • Control of Glass Infiltration at the Al2O3/Glass/Al2O3 Interface
저자명
Jo. Tae-Jin,Yeo. Dong-Hun,Shin. Hyo-Soon,Hong. Youn-Woo,Cho. Yong-Soo
간행물명
Transactions on electrical and electronic materials
권/호정보
2011년|12권 1호|pp.32-34 (3 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

A zero-shrinkage sintering process in which the shrinkage of the x-y axis is controlled to be zero is in great demand due to the high integration trend in ceramic modules. Among the zero-shrinkage sintering processes available, the glass infiltration method proposed in the preliminary study with an $Al_2O_3/Glass/Al_2O_3$ structure is one promising method. However, problems exist in regard to the glass infiltration method, including partially incomplete joining between $Al_2O_3$ and glass layers due to the precipitate of Ti-Pb rich phase during the sintering process. Therefore, we wish to solve the de-lamination problems and suggest a mechanism for delamination and the solutions in the zero-shrinkage low temperature co-fired ceramic (LTCC) layers. The de-lamination problems diminished using the Pb-BSi-O glass without $TiO_2$ in Pb-B-Ti-Si-O glass and produced a very dense zero-shrinkage LTCC.