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InAlAs/InGaAs/GaAs 100 nm-게이트 MHEMT 소자의 에피 구조 최적화 설계에 관한 연구
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  • InAlAs/InGaAs/GaAs 100 nm-게이트 MHEMT 소자의 에피 구조 최적화 설계에 관한 연구
  • Optimization Study on the Epitaxial Structure for 100nm-Gate MHEMTs with InAlAs/InGaAs/GaAs Heterostructure
저자명
손명식,Son. Myung-Sik
간행물명
반도체디스플레이기술학회지
권/호정보
2011년|10권 4호|pp.107-112 (6 pages)
발행정보
한국반도체디스플레이기술학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

This paper is for improving the RF frequency performance of a fabricated 100nm ${Gamma}$-gate MHEMT, scaling down vertically for the epitaxy-structure layers of the device. Hydrodynamic simulation parameters are calibrated for the fabricated MHEMT with the modulation-doped $In_{0.52}Al_{0.48}As/In_{0.53}Ga_{0.47}$As heterostructure grown on the GaAs substrate. With these calibrated parameters, simulations for the vertically-scaled epitaxial layers of the device are performed and analyzed for DC/RF characteristics, including the quantization effect due to the thickness reduction of InGaAs channel layer. A newly designed epitaxy-structure device shows higher extrinsic transconductance, $g_m$ of 1.556 S/mm, and higher frequency performance, $f_T$ of 222.5 GHz and $f_{max}$ of 849.6 GHz.