- 펨토초 레이저 리소그라피 기술을 이용한 Fresnel zone plate 제작 연구
- ㆍ 저자명
- 손익부,노영철,고명진,Sohn. I.B.,Noh. Y.C.,Ko. M.J.
- ㆍ 간행물명
- 한국레이저가공학회지
- ㆍ 권/호정보
- 2011년|14권 2호|pp.13-16 (4 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국레이저가공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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We fabricated the Fresnel zone plate using femtosecond laser lithography-assisted micro-machining, which is a combined process of nonlinear lithography and wet etching. We investigated the focusing properties by launching a 632.8nm wavelength He-Ne laser beam into the zone plate. The spot size of the primary focal point was $27{mu}m$ and the intensity of focal point was 0.565W/$cm^2$.