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펨토초 레이저 응용 선택적 어블레이션 연구
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  • 펨토초 레이저 응용 선택적 어블레이션 연구
저자명
유재용,조성학,박정규,윤지욱,황경현,고지 수지오카,홍종욱,허원하,다니얼 뵈머,박준형,세바스찬 잰더,Yu. J.Y.,Cho. S.H.,Park. J.K.,Yoon. J.W.,Whang. K.R.,Sugioka. K.,Hong. J.
간행물명
한국레이저가공학회지
권/호정보
2011년|14권 2호|pp.17-23 (7 pages)
발행정보
한국레이저가공학회
파일정보
정기간행물|
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주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Active thin films are ubiquitous in the manufacture of all forms of flat panel display (FPD). One of the most widely employed thin films is indium tin oxide (ITO) and metal films used electrically conductive materials in display industries. ITO is widely used for fabrication of LCD, OLED device, and many kinds of optical applications because of transparency in visible range and its high conductivity and metal films are also widely employed as electrodes in various electric and display industries. It is important that removing specific area of layer, such as ITO or metal film on substrate, to fabricate and repair electrode in display industries. In this work, we demonstrate efficient selective ablation process to ITO and aluminum film on glass using a femtosecond laser (${lambda}p=1025nm$) respectively. The femtosecond laser with wavelength of 1025nm, pulse duration of 400fs, and the repetition rate of 100kHz was used for selectively removing ITO and Al on glass in the air. We can successfully remove the ITO and Al films with various pulse energies using a femtosecond laser.