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직접질화법 AlN 분말의 소결거동 및 열전도도에 미치는 고에너지 볼밀링 효과
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  • 직접질화법 AlN 분말의 소결거동 및 열전도도에 미치는 고에너지 볼밀링 효과
저자명
박해룡,김형태,이성민,김영도,류성수,Park. Hae-Ryong,Kim. Hyung-Tae,Lee. Sung-Min,Kim. Young-Do,Ryu. Sung-Soo
간행물명
한국세라믹학회지
권/호정보
2011년|48권 5호|pp.418-425 (8 pages)
발행정보
한국세라믹학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In this study, a high energy ball milling process was introduced in order to improve the densification of direct nitrided AlN powder. The sintering behavior and thermal conductivity of the AlN milled powder was investigated. The mixture of AlN powder and 5 wt% $Y_2O_3$ as a sintering additive was pulverized and dispersed by a bead mill with very small $ZrO_2$ bead media. The milled powders were sintered at $1700^{circ}C-1800^{circ}C$ for 4 h under $N_2$ atmosphere. The results showed that the sintered density was enhanced with increasing milling time due to the particle refinement as well as the increase in oxygen contents. Appropriate milling time was effective for the improvement of thermal conductivity, but the extensive millied powder formed more fractions of secondary phase during sintering, resulted in the decrease in thermal conductivity. The AlN powder milled for 10min after sintering at $1800^{circ}C$ revealed the highest thermal conductivity, of 164W/$m{cdot}K$ in tne densified AlN sintered at $1800^{circ}C$.