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에어백 공구 기반의 광학 연마 장치의 미세 힘 제어 구현
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  • 에어백 공구 기반의 광학 연마 장치의 미세 힘 제어 구현
저자명
이호철,이창은,제태진,Lee. Ho-Cheol,Lee. Chang-Eun,Je. Tae-Jin
간행물명
한국생산제조시스템학회지
권/호정보
2012년|21권 5호|pp.714-719 (6 pages)
발행정보
한국생산제조시스템학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In this paper, the polishing force monitoring and the control method were implemented for the polishing machine with the airbag tool. Airbag tool has been known to be adaptable to the curvature variation such as the aspherical and the free-form surface. However, it was necessary to control the tool movement of vertical axis also because of the table rotational wobble and vibration. To solve it by the polishing force control, we installed another stepping motor to the z-axis. And the polishing force was measured with the load cell and controlled by the PID Labview controller. A few hundreds gram of the polishing force were well controlled under 0.8 second of the response time and 5% variation. An experiment was done to clean the edge burrs of the micro channel structure of width $87{mu}m$ using the polishing force control.