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탄화규소 단결정의 폴리타입 안정화를 위한 종자정 표면특성 연구
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  • 탄화규소 단결정의 폴리타입 안정화를 위한 종자정 표면특성 연구
저자명
이상일,박미선,이도형,이희태,배병중,서원선,이원재,Lee. Sang-Il,Park. Mi-Seon,Lee. Doe-Hyung,Lee. Hee-Tae,Bae. Byung-Joong,Seo. Won-Seon,Lee. Won-Jae
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2013년|26권 12호|pp.863-866 (4 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

SiC crystal ingots were grown on 6H-SiC dual-seed crystals with different surface roughness and different seed orientation by a PVT (Physical Vapor Transport) method. 4H and 15R-SiC were grown on seed crystal with high root-mean-square (rms) value. The polytype of grown crystal on the seed crystal with lower rms value was confirmed to be 6H-SiC. On the other hand, all SiC crystals grown on seed crystals with different seed orientation were proven to be 6H-SiC. The surface roughness of seed crystals had no effect on the crystal structure of the grown crystals. However, the crystal quality of 6H-SiC single crystals grown on the on-axis seed were revealed to be slightly better than that of 6H-SiC crystal grown on the off-axis seed.