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그래핀 하부전극을 이용하여 BMNO 케페시터의 특성 향상을 위한 Ti Adhesion Layer의 효과
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  • 그래핀 하부전극을 이용하여 BMNO 케페시터의 특성 향상을 위한 Ti Adhesion Layer의 효과
저자명
박병주,윤순길,Park. Byeong-Ju,Yoon. Soon-Gil
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2013년|26권 12호|pp.867-871 (5 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The Ti adhesion layers were deposited onto the glass substrate for transparent capacitors using $Bi_2Mg_{2/3}Nb_{4/3}O_7$ (BMNO) dielectric thin films. Graphene was transferred onto the Ti/glass substrate after growing onto the Ni/$SiO_2$/Si using rapid-thermal pulse CVD (RTPCVD). The BMNO dielectric thin films were investigated for the microstructure, dielectric and leakage properties in the case of capacitors with and without Ti adhesion layers. Leakage current and dielectric properties were strongly dependent on the Ti adhesion layers grown for graphene bottom electrode.