기관회원 [로그인]
소속기관에서 받은 아이디, 비밀번호를 입력해 주세요.
개인회원 [로그인]

비회원 구매시 입력하신 핸드폰번호를 입력해 주세요.
본인 인증 후 구매내역을 확인하실 수 있습니다.

회원가입
서지반출
다중벽 카본 나노튜브를 이용한 FET식 NOx 가스 센싱 시스템 제작
[STEP1]서지반출 형식 선택
파일형식
@
서지도구
SNS
기타
[STEP2]서지반출 정보 선택
  • 제목
  • URL
돌아가기
확인
취소
  • 다중벽 카본 나노튜브를 이용한 FET식 NOx 가스 센싱 시스템 제작
저자명
김현수,장경욱,Kim. Hyun-Soo,Jang. Kyung-Uk
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2013년|26권 4호|pp.325-329 (5 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
서지반출

기타언어초록

Carbon nanotubes(CNT) have excellent electrical, chemical stability and mechanical properties. These can be used in a variety of fields. MWCNT are extremely sensitive for minute changes in the ambient gas, namely, their sensing properties varies greatly with the absorption of gas such as NOx and $H_2$. We investigate the electrical properties of CNTs and make a NOx gas sensor based on Multi-walled carbon nanotubes (MWCNT) materials. We obtained the NOx gas sensor of MWCNT based on P-type Si wafer that has the resistivity of $1.667{ imes}10^{-1}[{Omega}{cdot}cm]$. We knew that the sensitivity of sensor decreased with increasing of NOx gas concentration. And the sensitivity of sensor shows the largest value at $20^{circ}C$. The sensitivity of sensor decrease with increasing the temperature. Also absorption energy of NOx gas molecule on the MWCNT surface decreases with increasing concentration of NOx gas.