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High-shock silicon accelerometer with suspended piezoresistive sensing bridges
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  • High-shock silicon accelerometer with suspended piezoresistive sensing bridges
  • High-shock silicon accelerometer with suspended piezoresistive sensing bridges
저자명
Bae. Kong Myeong,Lee. Jae Min,Kwon. Ki Beom,Han. Ki-Ho,Kwon. Nam Yeol,Han. Jeong Sam,Ko. Jong Soo
간행물명
Journal of mechanical science and technology
권/호정보
2014년|28권 4호|pp.1449-1454 (6 pages)
발행정보
대한기계학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

A high-shock 2000 g accelerometer with suspended piezoresistive sensing bridges has been designed, fabricated, and tested. Structural size of the accelerometer has been obtained through an optimal design process. Four resistors are electrically connected to form a Wheatstone bridge circuit. A sensitivity of $25.5{mu}V/g$ has been measured from the fabricated accelerometer with a nonlinearity of 0.2% in an acceleration range within 2000 g. The real-time response of the fabricated accelerometers accurately follows the reference accelerometer. The newly fabricated accelerometer has survived an oveshock condition of 4667 g.