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High-Yield Etching-Free Transfer of Graphene: A Fracture Mechanics Approach
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  • High-Yield Etching-Free Transfer of Graphene: A Fracture Mechanics Approach
  • High-Yield Etching-Free Transfer of Graphene: A Fracture Mechanics Approach
저자명
Yoon. Taeshik,Jo. Woo Sung,Kim. Taek-Soo
간행물명
마이크로전자 및 패키징 학회지
권/호정보
2014년|21권 2호|pp.59-64 (6 pages)
발행정보
한국마이크로전자및패키징학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Transfer is the critical issue of producing high-quality and scalable graphene electronic devices. However, conventional transfer processes require the removal of an underlying metal layer by wet etching process, which induces significant economic and environmental problems. We propose the etching-free mechanical releasing of graphene using polymer adhesives. A fracture mechanics approach was introduced to understand the releasing mechanism and ensure highyield process. It is shown that the thickness of adhesive and target substrate affect the transferability of graphene. Based on experimental and fracture mechanics simulation results, we further observed that compliant adhesives can reduce the adhesive stress during the transfer, which also enhances the success probability of graphene transfer.