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Design and Analysis of Sub-10 nm Junctionless Fin-Shaped Field-Effect Transistors
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  • Design and Analysis of Sub-10 nm Junctionless Fin-Shaped Field-Effect Transistors
  • Design and Analysis of Sub-10 nm Junctionless Fin-Shaped Field-Effect Transistors
저자명
Kim. Sung Yoon,Seo. Jae Hwa,Yoon. Young Jun,Yoo. Gwan Min,Kim. Young Jae,Eun. Hye Rim,Kang. Hye Su,Kim. Jungjoon,Cho. Seongjae,L
간행물명
Journal of semiconductor technology and science
권/호정보
2014년|14권 5호|pp.508-517 (10 pages)
발행정보
대한전자공학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

We design and analyze the n-channel junctionless fin-shaped field-effect transistor (JL FinFET) with 10-nm gate length and compare its performances with those of the conventional bulk-type fin-shaped FET (conventional bulk FinFET). A three-dimensional (3-D) device simulations were performed to optimize the device design parameters including the width ($W_{fin}$) and height ($H_{fin}$) of the fin as well as the channel doping concentration ($N_{ch}$). Based on the design optimization, the two devices were compared in terms of direct-current (DC) and radio-frequency (RF) characteristics. The results reveal that the JL FinFET has better subthreshold swing, and more effectively suppresses short-channel effects (SCEs) than the conventional bulk FinFET.