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Substrate Doping Concentration Dependence of Electron Mobility Enhancement in Uniaxial Strained (110)/<110> nMOSFETs
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  • Substrate Doping Concentration Dependence of Electron Mobility Enhancement in Uniaxial Strained (110)/<110> nMOSFETs
  • Substrate Doping Concentration Dependence of Electron Mobility Enhancement in Uniaxial Strained (110)/<110> nMOSFETs
저자명
Sun. Wookyung,Choi. Sujin,Shin. Hyungsoon
간행물명
Journal of semiconductor technology and science
권/호정보
2014년|14권 5호|pp.518-524 (7 pages)
발행정보
대한전자공학회
파일정보
정기간행물|ENG|
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주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The substrate doping concentration dependence of strain-enhanced electron mobility in (110)/<110> nMOSFETs is investigated by using a self-consistent Schr$ddot{o}$dinger-Poisson solver. The electron mobility model includes Coulomb, phonon, and surface roughness scattering. The calculated results show that, in contrast to (100)/<110> case, the longitudinal tensile strain-induced electron mobility enhancement on the (110)/<110> can be increased at high substrate doping concentration.