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플라즈마 성장기술과 반도체소자에의 응용
민남기, 김승배 대한전기학회 전기학회지= The Processing of the Institute of Electrical Engineers 10 Pages
대한전기학회 전기학회지= The Processing of the Institute of Electrical Engineers 1983, Vol.32 No.10 616-625 (10 pages)
본고에서는 PECVD의 기본원리와 장치를 간단히 설명한 후, 현재까지 PECVD법에 의해 형성된 박막중 반도체소자에의 적용을 위해 광범위하게 연구개발이 진행되고 있는 plasma silicon nitride (이하 PD SiN)와 plasma silicon dioxide (or oxide) (이하 PD SiO$_{2}$)막의 특성에 대해 현재까지의 연구결과를 중심으로 PECVD막의 성질을 고찰하고, 반도체 소자에의 응용을 검토한다. -
플라즈마 중합된 Styrene을 유기박막으로 사용한 하이브리드형 OLED 봉지기술
정건수, 이붕주, 신백균, Jung. Kun-Soo, Lee. Boong-Joo, Shin. Paik-Kyun 대한전기학회 전기학회논문지= The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers 5 Pages
대한전기학회 전기학회논문지= The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers 2014, Vol.63 No.10 1412-1416 (5 pages)
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반응가스 비율에 따른 탄소나노월의 성장특성
김성윤, 강현일, 최원석, 정연호, 임윤식, 유영식, 황현석, 송우창, Kim. Sung-Yun, Kang. Hyunil, Choi. Won Seok, Joung. Yeun-Ho, Lim. Yonnsik, Yoo. Youngsik, Hwang. Hyun 대한전기학회 전기학회논문지. The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. P 5 Pages
대한전기학회 전기학회논문지. The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. P 2014, Vol.63 No.4 351-355 (5 pages)
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A Study on the As Low As Reasonably Practicable (ALARP)-Concept Risk Assessment of Silane in Semiconductor and LCD Process
이중희, 황성민, 우인성, Lee. Joong-Hee, Hwang. Seong-Min, Woo. In-Sung 대한안전경영과학회 대한안전경영과학회지 6 Pages
대한안전경영과학회 대한안전경영과학회지 2010, Vol.12 No.4 93-98 (6 pages)
본 연구에서는, 반도체, LCD 공정에서 금속막을 증착하기 위하여 PECVD장비에 화재, 폭발 위험성과 독성을 가진 Silane가스를 사용하게 되는 장비인 gas cabinet, pipeline, VMB(Valve manifold box), MFC(mass flow controller)장비 등, 전반적인 시스템에 대하여 영국 HES의 ALARP개념을 도입하여 위험성 평가를 실시하여 문제점을 도출하고 대책을 강구 하는데 목적이 있고, 여러 가지 문제점중 절대적으로 수용 할 수 없는 Critical Risk로는 Gas Cylinder를 사용하여 Silane을 공급하고자 할 때에는 필히 Gas Cabinet을 사용하여... -
결정질 실리콘 태양전지를 위한 실리콘 질화막의 특성
박제준, 김진국, 송희은, 강민구, 강기환, 이희덕, Park. Je-Jun, Kim. Jin-Kuk, Song. Hee-Eun, Kang. Min-Gu, Kang. Gi-Hwan, Lee. Hi-Deok 한국태양에너지학회 한국태양에너지학회 논문집 7 Pages
한국태양에너지학회 한국태양에너지학회 논문집 2013, Vol.33 No.2 11-17 (7 pages)
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플렉서블 디스플레이의 적용을 위한 저온 실리콘 질화물 박막성장의 특성 연구
임노민, 김문근, 권광호, 김종관, Lim. Nomin, Kim. Moonkeun, Kwon. Kwang-Ho, Kim. Jong-Kwan 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 5 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2013, Vol.26 No.11 816-820 (5 pages)
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결정질 실리콘 태양전지를 위한 이층 반사방지막 구조
박제준, 정명상, 김진국, 이희덕, 강민구, 송희은, Park. Je Jun, Jeong. Myeong Sang, Kim. Jin Kuk, Lee. Hi-Deok, Kang. Min Gu, Song. Hee-eun 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 7 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2013, Vol.26 No.1 73-79 (7 pages)
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BTMSM/O2 유량변화에 따른 SiOCH 박막의 저유전 특성
박인철, 김홍배, Park. In-Cheol, Kim. Hong-Bae 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 5 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2009, Vol.22 No.2 132-136 (5 pages)
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열처리한 SiOCH 박막의 결합모드와 유전상수 특성
김종욱, 황창수, 박용헌, 김홍배, Kim. Jong-Wook, Hwang. Chang-Su, Park. Yong-Heon, Kim. Hong-Bae 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 6 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2009, Vol.22 No.1 47-52 (6 pages)
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BTMSM/O2 유량변화에 따른 SiOCH 박막 결합모드의 2차원 상관관계 특성
김종욱, 황창수, 김홍배, Kim. Jong-Wook, Hwang. Chang-Su, Kim. Hong-Bae 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 8 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2008, Vol.21 No.4 354-361 (8 pages)