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Study of Inhibition Characteristics of Slurry Additives in Copper CMP using Force Spectroscopy
Lee. Hyo-Sang, Philipossian. Ara, Babu. Suryadevara V., Patri. Udaya B., Hong. Young-Ki, Economikos. Laertis, Goldstein. Michael 한국전기전자재료학회 Transactions on electrical and electronic materials 6 Pages
한국전기전자재료학회 Transactions on electrical and electronic materials 2007, Vol.8 No.1 5-10 (6 pages)
-
Dishing and Erosion Evaluations of Tungsten CMP Slurry in the Orbital Polishing System
Lee. Sang-Ho, Kang. Young-Jae, Park. Jin-Goo, Kwon. Pan-Ki, Kim. Chang-Il, Oh. Chan-Kwon, Kim. Soo-Myoung, Jhon. Myung-S., Hur. Se-An, Ki 한국전기전자재료학회 Transactions on electrical and electronic materials 4 Pages
한국전기전자재료학회 Transactions on electrical and electronic materials 2006, Vol.7 No.4 163-166 (4 pages)
-
Polishing Mechanism of TEOS-CMP with High-temperature Slurry by Surface Analysis
Kim. Nam-Hoon, Seo. Yong-Jin, Ko. Pil-Ju, Lee. Woo-Sun 한국전기전자재료학회 Transactions on electrical and electronic materials 5 Pages
한국전기전자재료학회 Transactions on electrical and electronic materials 2005, Vol.6 No.4 164-168 (5 pages)
-
Optimization of Removal Rates with Guaranteed Dispersion Stability in Copper CMP Slurry
Kim. Tae-Gun, Kim. Nam-Hoon, Kim. Sang-Yong, Chang. Eui-Goo 한국전기전자재료학회 Transactions on electrical and electronic materials 4 Pages
한국전기전자재료학회 Transactions on electrical and electronic materials 2004, Vol.5 No.6 233-236 (4 pages)
-
Reproducible Chemical Mechanical Polishing Characteristics of Shallow Trench Isolation Structure using High Selectivity Slurry
Jeong. So-Young, Seo. Yong-Jin, Kim. Sang-Yong 한국전기전자재료학회 Transactions on electrical and electronic materials 5 Pages
한국전기전자재료학회 Transactions on electrical and electronic materials 2002, Vol.3 No.4 5-9 (5 pages)
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폐네오디뮴 자석 침출용액으로부터 Slurry 환원법을 이용한 철 Nano 분말 제조
안종관, 강윤지, 유혜빈, 윤호성, Ahn. Jong-Gwan, Gang. Ryunji, You. Haebin, Yoon. Ho-Sung 한국자원리싸이클링학회 資源리싸이클링 : 한국자원리싸이클링학회지 8 Pages
한국자원리싸이클링학회 資源리싸이클링 : 한국자원리싸이클링학회지 2014, Vol.23 No.6 22-29 (8 pages)
네오디뮴 폐자석 침출액으로부터 희유금속인 네오디뮴을 회수하는 연구와 함께 네오디뮴과 같이 침출되는 철의 부가가치를 높이는 연구가 필요하다. 본 연구에서는 네오디뮴과 같이 침출되는 철의 유용자원화를 위한 기초연구로 철 나노분말을 제조하는 실험을 수행하였다. 본 연구는 $FeCl_3$ 용액을 철 분말 원료로, 분산제는 $Na_4P_2O_7$와 Polyvinylpyrrolidone를 이용하였고, 환원제로는 $NaBH_4$, 철 나노분말 핵생성 촉진제 seed로 염화팔라듐을 사용하였다. 제조한 철 나노분말을 XRD, SEM을 이용하여 분말의 형상 및 크기를...