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고주파 마그네트론 반응성 스퍼터링에 의해 제조한 $ extrm{TiO}_2$박막의 미세조직과 광학적 특성
노광현, 박원, 최건, 안종천, No. Gwang-Hyeon, Park. Won, Choe. Geon, An. Jong-Cheon 한국재료학회 한국재료학회지 6 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 1997, Vol.7 No.1 21-26 (6 pages)
고주파 마그네트론 반응성 스퍼터링(rf magnetron reactive sputtering)으로 티타늄산화물 박막을 제조하여 산소비율에 따른 반응성 스퍼터링의 증착기구를 조사하고 산소비율 및 기판온도에 따른 산화물 조성의 변화, 미세조직, 광학적 특성의 변화를 연구하였다. 기존의 진공기상증착법으로 증착만 박막에 비해, 금속타겟을 사용하여 높은 증착속도를 얻을 수 있는 반응성 마그네트론 스퍼터링으로 성막한 티타늄산화물 박막은 치밀도가 우수하여 높은 굴절률(2.06)과 높은 광투과율을 보였다. 상온에서 성막된 티타늄 산화물박막의... -
FeZrN/$SiO_2$ 연자성 다층 박막의 자기적 성질
김택수, 김종오, Kim. Taek-Su, Kim. Jong-O 한국재료학회 한국재료학회지 6 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 1996, Vol.6 No.11 1061-1066 (6 pages)
RF magnetron reactive sputtering법으로 Fe75.5Zr8.3N16.2/SiO2(250$AA$) 다층 박막을 FeZrN의 두께를 변화시키면서 제조하고, 제조된 박막을 진공 열처리하여 열처리 온도에 따른 포화자화, 보자력, 고주파에서의 투자율 그리고 열적 안정성을 조사하였다. Fe75.5Zr8.3N16.2/SiO2(250$AA$) 다층박막은 FeZrN의 두께가 800$AA$이상일 때 좋은 연자성을 나타내었다. Fe75.5Zr8.3N16.2/SiO2(250$AA$)다층 박막을 45$0^{circ}C$로 열처리 했을 때 포화자속밀도(1.08 T), 보자력 0.41 Oe, 1 MHz에서의 실효 투자율은 3000이상의 연자성을... -
CoFeHfO 박막의 자기적 특성
이광은, 느반더, 김상훈, 김철기, 김종오, Lee. K.E., Tho. L.V., Kim. S.H., Kim. C.G., Kim. C.O. 한국자기학회 韓國磁氣學會誌 4 Pages
한국자기학회 韓國磁氣學會誌 2006, Vol.16 No.4 197-200 (4 pages)
RF magnetron reactive sputtering법으로 CoFeHfO 박막을 상온에서 제작하여 산소분압에 따른 포화자화, 보자력, 이방성자계를 조사하였다. 최적조건인 산소분압 8%에서 제조한 $Co_{39}Fe_{34}Hf_{9.5}O_{17.5}$ 박막은 포자자속밀도($4{pi}M_s$) 19kG, 보자력($H_c$) 0.37Oe, 이방성자계($H_k$) 48.62Oe의 우수한 연자성을 나타내었다. CoFeHfO 박막의 전기비저항은 산소분압이 늘어남에 따라 증가하는 경향을 나타내었으며 우수한 연자기적 성질을 가지는 $Co_{39}Fe_{34}Hf_{9.5}O_{17.5}$ 박막의 경우, 300 ${mu}{Omega}cm$의 높은... -
Fe-Zr-N 연자성 박막의 자기적 성질
김택수, 김종오, 이중환, 윤선진, 김좌연 한국자기학회 韓國磁氣學會誌 6 Pages
한국자기학회 韓國磁氣學會誌 1996, Vol.6 No.5 317-322 (6 pages)
RF magnetron reactive sputtering 법으로 Fe-Zr-N 박막을 제작하여 열처리 온도와 질소 분압의 변화에 따른 포화자화, 보자력, 고주파에서의 투자율 그리고 열적 안정성을 조사하였다. Fe-Zr-N 박막은 비정질과 결정질의 경계 조성인 $Fe_{72-78}Zr_{7-10}N_{15-18}$의 조성범위에서 연자성을 나타내었다. 이러한 박막은 포화자속밀도 1.55 T, 1 MHz에서의 실효 투자율은 3000 이상의 연자성을 나타내고 열처리 온도 $550^{circ}C$ 까지도 실효투자율 2500 정도의 열적 안정성을 나타내었다. X-선 회절 분석 결과 열처리에 의해서 ZrN... -
직류 및 고주파 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 Ti-Al-V-N 박막의 특성
손용운, 정인화, 이영기, Sohn. Yong-Un, Chung. In-Wha, Lee. Young-Ki 한국열처리공학회 열처리공학회지 7 Pages
한국열처리공학회 열처리공학회지 2000, Vol.13 No.6 398-404 (7 pages)
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반응성 마그네트론 스퍼터링법으로 제조한 Ti-Al-V-N 박막의 미세조직 및 부착특성에 관한 연구
손용운, 이영기, Sohn. Yong-Un, Lee. Young-Ki 한국열처리공학회 열처리공학회지 7 Pages
한국열처리공학회 열처리공학회지 1999, Vol.12 No.3 199-205 (7 pages)
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Pressure Sensing Properties of AlN Thin Films Sputtered at Room Temperature
Seok. Hye-Won, Kim. Sei-Ki, Kang. Yang-Koo, Lee. Youn-Jin, Hong. Yeon-Woo, Ju. Byeong-Kwon 한국센서학회 Journal of sensor science and technology 5 Pages
한국센서학회 Journal of sensor science and technology 2014, Vol.23 No.2 94-98 (5 pages)