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탈이온수로 희석된 실리카 슬러리에 알루미나 연마제가 첨가된 혼합 연마제 슬러리의 CMP 특성
서용진, 박창준, 최운식, 김상용, 박진성, 이우선 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 6 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2003, Vol.16 No.6 465-470 (6 pages)
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금속 CMP 공정시 경질 다공성 패드의 적용
김상용, 김남훈, 김인표, 장의구 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 5 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2003, Vol.16 No.5 385-389 (5 pages)
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CMP 공정에서 마이크로 스크래치 감소를 위한 슬러리 필터의 특성
김철복, 김상용, 서용진 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 5 Pages
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실리콘 웨이퍼위에 증착된 실리케이트 산화막의 CMP 슬러리 오염 특성
김상용, 서용진, 이우선, 장의구 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 6 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2000, Vol.13 No.2 131-136 (6 pages)
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Chemical Mechanical Polishing (CMP) 공정을 이용한 Mutilevel Metal 구조의 광역 평탄화에 관한 연구
김상용, 서용진, 김태형, 이우선, 김창일, 장의구 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 7 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 1998, Vol.11 No.12 1084-1090 (7 pages)
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연료극 지지체식 원통형 고체산화물 연료전지의 제조 및 특성
송근숙, 송락현, 임영언, Song. Keun-Sik, Song. Rak-Hyun, Ihm. Young-Eon 한국재료학회 한국재료학회지 5 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 2002, Vol.12 No.9 691-695 (5 pages)
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분류층 가스화기 특징 및 공정모사 분석
유정석, 김유석, 백민수, Yoo. Jeongseok, Kim. Youseok, Paek. Minsu 한국신재생에너지학회 신재생에너지 9 Pages
한국신재생에너지학회 신재생에너지 2013, Vol.9 No.3 20-28 (9 pages)
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액상환원법에 의한 CuO-H2O 슬러리로부터 미세 구리분말의 제조
안종관, 김동진, 이익규, 이재령, 양환진, Ahn. Jong-Gwan, Kim. Dong-Jin, Lee. Ik-Kyu, Lee. Jaeryeung, Huanzhen. Liang 한국분말야금학회 한국분말야금학회지 9 Pages
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슬러리법에 의한 탄소섬유보강 시멘트복합체의 제조에서 보강섬유와 계면결착제와의 상관특성
최응규, Choi. Eung-Kyoo 한국건축시공학회 한국건축시공학회지 8 Pages
한국건축시공학회 한국건축시공학회지 2002, Vol.2 No.3 131-138 (8 pages)