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나노초 UV 레이저를 이용한 분말사출 부품의 미세기공
안대환, 박성진, 권영삼, 김동식, Ahn. Dae-Hwan, Park. Seong-Jin, Kwon. Young-Sam, Kim. Dong-Sik 한국레이저가공학회 한국레이저가공학회지 5 Pages
한국레이저가공학회 한국레이저가공학회지 2010, Vol.13 No.1 1-5 (5 pages)
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펨토초 레이저에 의한 SUS 가공 특성 및 리플 생성
손익부, 고명진, 김영섭, 노영철, Son. Ik-Bu, Go. Myeong-Jin, Kim. Yeong-Seop, No. Yeong-Cheol 한국레이저가공학회 한국레이저가공학회지 5 Pages
한국레이저가공학회 한국레이저가공학회지 2009, Vol.12 No.1 14-18 (5 pages)
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나노초 가시광 레이저 펄스를 이용한 사파이어 미세천공 공정의 해석
오부국, 정영대, 김남성, 김동식, O. Bu-Guk, Jeong. Yeong-Dae, Kim. Nam-Seong, Kim. Dong-Sik 한국레이저가공학회 한국레이저가공학회지 7 Pages
한국레이저가공학회 한국레이저가공학회지 2009, Vol.12 No.1 7-13 (7 pages)
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DPSS UV Laser와 습식 식각을 이용한 금형강 미세 가공
민경익, 김재구, 조성학, 최두선, 황경현, Min. Kyoung-Ik, Kim. Jae-Gu, Cho. Sung-Hak, Choi. Doo-Sun, Whang. Kyung-Hyun 한국레이저가공학회 한국레이저가공학회지 6 Pages
한국레이저가공학회 한국레이저가공학회지 2009, Vol.12 No.3 1-6 (6 pages)
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공정 모니터링 광학모듈이 장착된 UV 레이저 미세가공 플랫폼 제작
손현기, 이제훈, 정용운, 김상인, 한재원, Sohn. H., Lee. J.H., Jeong. Y.W., Kim. S.I., Hahn. J.W. 한국레이저가공학회 한국레이저가공학회지 6 Pages
한국레이저가공학회 한국레이저가공학회지 2008, Vol.11 No.2 33-38 (6 pages)
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액상에서의 엑시머 레이저 실리콘 미세가공
장덕석, 김동식, Jang. Deok-Suk, Kim. Dong-Sik 한국레이저가공학회 한국레이저가공학회지 7 Pages
한국레이저가공학회 한국레이저가공학회지 2008, Vol.11 No.1 12-18 (7 pages)
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액체 보조 방식의 Excimer 레이저 폴리머 미세가공
장덕석, 김동식, Jang. Deok-Suk, Kim. Dong-Sik 한국레이저가공학회 한국레이저가공학회지 9 Pages
한국레이저가공학회 한국레이저가공학회지 2007, Vol.10 No.1 19-27 (9 pages)
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스캐너를 이용한 고속 펨토초 레이저 가공 기술
손익부, 최성철, 노영철, 고도경, 이종민, Sohn. Ik-Bu, Choi. Sung-Chul, Noh. Young-Chul, Ko. Do-Kyeong, Lee. Jong-Min 한국레이저가공학회 한국레이저가공학회지 5 Pages
한국레이저가공학회 한국레이저가공학회지 2006, Vol.9 No.2 11-15 (5 pages)
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펨토초 레이저를 이용한 미세 패터닝 기술
손익부, 이만섭, 우정식, 이상만, 정정용, Sohn. Ik-Bu, Lee. Man-Seop, Woo. Jung-Sik, Lee. Sang-Man, Chung. Jeong-Yong 한국레이저가공학회 한국레이저가공학회지 6 Pages
한국레이저가공학회 한국레이저가공학회지 2005, Vol.8 No.1 39-44 (6 pages)
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Analyses of Temperature Behaviours at Fabrication Processes for Microaccelerometer Sensors
김옥삼, Kim. O.S. 한국동력기계공학회 한국동력기계공학회지 7 Pages
한국동력기계공학회 한국동력기계공학회지 2001, Vol.5 No.1 73-79 (7 pages)
정전기력을 이용하는 마이크로가속도계 센서는 단결성 실리콘 SOI(Silicon On Insulator) 웨이퍼의 기판에 절전재료 적층과 등방성 및 이방성 부식공정으로 제작한다. 마이크로가속도 센서 개발에는 3차원 미소구조체의 제작공정에서 가열 및 냉각공정의 온도구배로 야기되는 포핑업과 같은 열변형 해석이 최적 형상설계에 중요한 요건이다. 본 연구에서는 양자역학적 현상인 턴널링전류 원리로 승용차 에어백의 검침부 역할을 하는 마이크로가속도 센서의 제조공정에서 소착현상을 방지하는 부가 비임과 턴널갭의 FIB 절단가공과 백금...