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양산용 80 kW급 RF Plasma Torch System 개발 및 Si 나노분말 제조 공정 연구
송석균, 손병구, 김병훈, 이문원, 신명선, 최선용, 이규항, 김성인, Song. Seok-Kyun, Son. Byungkoo, Kim. Byunghoon, Lee. Moonwon, Sin. Myungsun, Choi. Sunyong, Lee. Kyu-H 한국진공학회 韓國眞空學會誌 13 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2013, Vol.22 No.2 66-78 (13 pages)
분석 등의 보다 많은 정보의 추출을 위하여 3차원 시뮬레이션을 진행했다. 파우더 주입관 위치, 입력 전류 변화에 따른 플라즈마 생성 특성, 세라믹 원통관 길이에 따른 플라즈마 방전 특성, 및 공정가스 유량에 따른 플라즈마 온도특성 등을 시뮬레이션 했다. 시뮬레이션을 통해 설계 제작된 RF 열 플라즈마 토치의 경우, 최대 89.3 kW까지 파워 인가가 측정되었다. 개발된 80 kW급 RF 열 플라즈마 토치 시스템의 양산성 평가로 Si 나노분말을 제조하고 특성을 고찰하였다. Si 나노분말의 생산량이 평균 539 g/hr의 양산 수준과 71.6%의... -
Phase identification of $C_3N_4$ in CN films prepared by rf plasma chemical vapor deposition and dc magnetron sputtering
Fu. Dejun, Wu. Dawei, Zhang. Zhihong, Meng. Xianquan, He. Mengbing, Guo. Huaixi, Peng. Yougui, Fan. Xiangjun 한국진공학회 韓國眞空學會誌 9 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 1998, Vol.7 No.1 140-148 (9 pages)
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RF Helicon Plasma CVD
김경례, 신재균, 현준원 한국전기전자재료학회 전기전자재료 4 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료 1998, Vol.11 No.11 161-164 (4 pages)
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RF Planar Magnetron Plasma CVD에 의한 DLC박막합성에 미치는 RF Power와 반응가스 압력의 영향
김성영, 이재성, Kim. Seong-Yeong, Lee. Jae-Seong 한국재료학회 한국재료학회지 6 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 1997, Vol.7 No.1 27-32 (6 pages)
증착속도가 더욱더 향상될 것이라는 것에 착안하였다. 이를 위해 magnetron에 의한 고밀도 플라즈마가 존재할 때도 역시 DLC박막형성에 미치는 RF 전력과 반응가스 압력이 중요한 반응변수인가에 대해 조사하였고, 일정한 자기장의 세기에서 RF전력과 DC self-bias 전압과의 관계를 조사하였다. 또한 RF전력변화에 따른 박막의 증착속도와 밀도를 측정하였다. 본 연구에 의해 얻어진 박막의 증착속도는 magnetron에 의한 이온화율이 매우 높아 기존의 RF-PECVD 법보다 매우 빠르며, DLC박막의 구조와 물질특성을 알아보기 위해 FTIR(fourier... -
SYNTHESIS OF ULTRAFINE $Si_3N_4$ PARTICLES BY RF PLASMA CHEMICAL VAPOR DEPOSITION
Hongjie. Zhu, Zhu. Yihua, Han. Jinyi, Li. Chunzhong, Hu. Liming 한국재료학회 Fabrication and Characterization of Advanced Materials 6 Pages
한국재료학회 Fabrication and Characterization of Advanced Materials 1995, Vol.1 No.2 281-286 (6 pages)
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RF Plasma법으로 증착된 TiCN박막의 구조 및 기계적 거동에 관한 연구
백창현, 박상렬, 홍주화, 위명용, 강희재, Baeg. C.H., Park. S.Y., Hong. J.W., Wey. M.Y., Kang. H.J. 한국열처리공학회 열처리공학회지 7 Pages
한국열처리공학회 열처리공학회지 2000, Vol.13 No.2 91-97 (7 pages)
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환상형상 전극구조를 갖는 저압 RF plasma를 이용한 CF4 제거
이재옥, 허민, 김관태, 이대훈, 송영훈, 이상윤, 노명근, Lee. Jae-Ok, Hur. Min, Kim. Kwan-Tae, Lee. Dae-Hoon, Song. Young-Hoon, Lee. Sang-Yun, Noh. Myung-Keun 한국대기환경학회 한국대기환경학회지 7 Pages
한국대기환경학회 한국대기환경학회지 2010, Vol.26 No.6 690-696 (7 pages)


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