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레이저 유도 열화학 습식에칭을 이용한 티타늄 미세구조물 제조
신용산, 손승우, 정성호 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 7 Pages
한국정밀공학회 한국정밀공학회지 2004, Vol.21 No.4 32-38 (7 pages)
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마이크로 팩토리 응용기술 - 마이크로 측정 및 가공 복합화 -
이채문, 임태순, 정우섭, 이득우, Lee. Chae-Mun, Im. Tae-Sun, Jeong. U-Seop, Lee. Deuk-U 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 6 Pages
한국정밀공학회 한국정밀공학회지 2002, Vol.19 No.10 31-36 (6 pages)
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Powder Blasting에 의한 미세 포켓의 기계적 에칭
박경호, 오영탁, 박동삼, Park. Kyoung-Ho, Oh. Young-Tak, Park. Dong-Sam 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 8 Pages
한국정밀공학회 한국정밀공학회지 2002, Vol.19 No.1 219-226 (8 pages)
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차량 내 탑승자 상태 인식용 적외선 센서의 제조 및 특성
이성현, 남태운, Lee. Sung-Hyun, Nam. Tae-Woon 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 8 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2009, Vol.22 No.3 222-229 (8 pages)
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λ/4 흡수층 구조를 갖는 NDIR 이산화탄소 가스센서용 적외선 센서의 제조 및 특성
이성현, 남태운, Lee. Sung-Hyun, Nam. Tae-Woon 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 5 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2008, Vol.21 No.11 1005-1009 (5 pages)
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맴브레인 구조를 이용한 미세발열체형 유량센서의 제작과 그 특성
정귀상, 노상수 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 5 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 1998, Vol.11 No.11 996-1000 (5 pages)
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증착 조건이 $(AI, SI)_{1-x}O_x$박막과 Pt 박막의 물성 및 응력 변화에 미치는 영향
이재석, 박종완, Lee. Jae-Seok, Park. Jong-Wan 한국재료학회 한국재료학회지 6 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 1996, Vol.6 No.9 937-942 (6 pages)
박막 공정 및 마이크로머시닝(micromachining)기술에 의해 제작되는 마이크로 가스 센서는 고온 동작이 필수불가결하며 이 때 안정된 출력을 얻기 위해서 센서 저항 변화에 영향을 줄 수 있는 응집화 현상이 발생하지 말아야 한다. 본 연구에서는 고온 동작시 응집화의 구동력으로 작용하는 여러 요소중의 하나인 응력(stress)을 줄이기 위해서 인가 전력 밀도, 기판온도, 증착 압력 등을 증착 변수로 하여 증착 조건이 (AI, SI)1-xOx박막과 Pt 박막의 제반 물성 및 응력변화에 미치는 영향에 대하여 연구하였다. (AI, SI)1-xOx박막의... -
실리콘 에피층을 이용한 자동차 에어백용 가속도계
고종수, 김규현, 이창렬, 조영호, 이귀로, 곽병만 한국자동차공학회 한국자동차공학회논문집 7 Pages
한국자동차공학회 한국자동차공학회논문집 1996, Vol.4 No.5 9-15 (7 pages)
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자동차용 반도체 집적센서 및 마이크로 액튜에이터
한국자동차공학회 自動車工學會誌 1992, Vol.14 No.3 12-25 (14 pages)
센서의 중요성을 입증하고, 전장기능시스템 구성에 필요한 센서의 종류, 시장 및 요구특성을 분석한다. 그후, 자동차용 센서의 요구특성을 만족시킬수 있는 제작기술로써 두종류의 반도체 미세가공(micromachining) 기술을 소개하고, 이들 각각의 기술이 내포하고 있는 특성을 비교, 정리한다. 이어, 반도체 미세가공 기술에 의해 제작된 자동차용 반도체 센서와 마이크로 엑튜에이터들을 소개하고, 일련의 개발예를 통하여 각각의 형태와 기능면에서의 발전경향을 진단하며, 나아가 관련 핵심기술의 중요성과 기술발전의 방향의 전망을... -
전도성 볼을 이용한 진동센서의 제작 및 특성
장성욱, 조용수, 공성호, 최시영, Jang. Sung-Wook, Cho. Yong-Soo, Kong. Seong-Ho, Choi. Sie-Young 한국센서학회 센서학회지 7 Pages
한국센서학회 센서학회지 2005, Vol.14 No.6 374-380 (7 pages)


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