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Parameterized Simulation Program with Integrated Circuit Emphasis Modeling of Two-level Microbolometer
Han. Seung-Oh, Chun. Chang-Hwan, Han. Chang-Suk, Park. Seung-Man 대한전기학회 Journal of electrical engineering & technology 5 Pages
대한전기학회 Journal of electrical engineering & technology 2011, Vol.6 No.2 270-274 (5 pages)
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SiO2/Si 및 Si 기판에 rf magnetron sputtering법으로 증착된 적외선 센서용 La0.7Sr0.3MnO3 CMR 박막 저항체 특성연구
최선규, 유병곤, 류호준, 박형호, Choi. Sun-Gyu, Yu. Byoung-Gon, Ryu. Ho-Jun, Park. Hyung-Ho 한국진공학회 韓國眞空學會誌 8 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2008, Vol.17 No.2 130-137 (8 pages)
$La_{0.7}Sr_{0.3}MnO_3$ 박막을 rf 마그네트론 스퍼터를 이용하여 챔버 내 산소가스유량비를 0, 40, 80 sccm 으로 조절하고 후열처리 공정 없이 기판온도를 $350^{circ}C$로 유지하면서 $SiO_2$/Si(100) 및 Si(100) 기판에 증착하였다. 증착된 $La_{0.7}Sr_{0.3}MnO_3$ 박막은 $SiO_2$/Si(100), Si(100) 기판 모두 (100), (110), (200)면을 갖는 polycrystalline 상태였으며, oxygen flow rate이 증가함에 따라 박막의 grain size가 증가하였다. 증가되는 grain size로 인하여 grain boundary가 감소하였고 따라서 높은 oxygen flow... -
금속유기분해법으로 제조한 니켈 망가나이트 박막의 구조적 특성
이귀웅, 전창준, 정영훈, 윤지선, 남중희, 조정호, 백종후, 윤종원, Lee. Kui Woong, Jeon. Chang Jun, Jeong. Young Hun, Yun. Ji Sun, Nam. Joong Hee, Cho. Jeong Ho, Paik. J 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 6 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2014, Vol.27 No.4 226-231 (6 pages)
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비정질 실리콘을 이용한 미세 피치 적외선 이미지 센서 제조 및 특성
김경민, 김병일, 김희연, 장원수, 김태현, 강태영, Kim. Kyoung-Min, Kim. Byeong-Il, Kim. Hee-Yeoun, Jang. Won-Soo, Kim. Tae-Hyun, Kang. Tai-Young 한국센서학회 센서학회지 7 Pages
한국센서학회 센서학회지 2010, Vol.19 No.2 130-136 (7 pages)
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이산화탄소 감지소자를 위한 마이크로볼로미터 구조 최적화 및 특성연구
서호원, 김태근, 문성욱, Seo. Ho-Won, Kim. Tae-Geun, Moon. Sung 한국센서학회 센서학회지 6 Pages
한국센서학회 센서학회지 2008, Vol.17 No.1 75-80 (6 pages)
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정전용량 방식의 이차원 마이크로볼로미터 FPA를 위한 저잡음 신호취득 회로 설계
김종은, 우두형, Kim. Jong Eun, Woo. Doo Hyung 대한전자공학회 Journal of the Institute of Electronics and Information Engineers 7 Pages
대한전자공학회 Journal of the Institute of Electronics and Information Engineers 2014, Vol.51 No.10 80-86 (7 pages)
본 연구를 통해서 정전용량 방식의 이차원 마이크로볼로미터를 위한 저잡음 신호취득 회로를 연구하였다. 잡음 대역폭이 매우 낮고 픽셀 면적이 작기 때문에 비 적분형 방식의 간단하고 효과적인 픽셀 단위의 회로를 사용했다. 또한, 가장 문제가 되는 kT/C 잡음을 줄이고 전력소모를 낮추기 위해 새로운 CDS 방식을 열 단위의 회로에 사용했다. 제안하는 회로는 $0.35-{mu}m$ 2-poly 4-metal CMOS 공정을 이용하여 설계했고, 마이크로볼로미터의 픽셀 크기는 $50{mu}m{ imes}50{mu}m$이다. 제안하는 신호취득회로는 볼로미터의 kT/C 잡음... -
MEMS 기반의 IR $CO_2$ 센서 제작 및 특성 평가
김신근, 한용희, 문성욱, Kim. Shin-Keun, Han. Yong-Hee, Moon. Sung-Wook 대한전기학회 전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문 6 Pages
대한전기학회 전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문 2005, Vol.54 No.5 232-237 (6 pages)