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FPD용 노광 스테이지의 통합 제어시스템 구현
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  • FPD용 노광 스테이지의 통합 제어시스템 구현
  • Implementation of Exposure Stage Integrated Control System for FPD
저자명
김종원,서재용,조현찬,조태훈,강흥석,Kim. Jong-Won,Seo. Jae-Yong,Cho. Hyun-Chan,Cho. Tai-Hoon,Kang. Heung-Seok
간행물명
반도체및디스플레이장비학회지
권/호정보
2006년|5권 4호|pp.11-15 (5 pages)
발행정보
한국반도체및디스플레이장비학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Expose equipment system that is used for manufacturing process of Flat Panel Display, is most important equipment in whole process. Expose equipment that is for making pattern of mask on substrate, consists of optical part, stage part and transport part. The stage is an important part that aligns mask and substrate for delivering pattern of mask to substrate exactly. In this paper, control system of expose stage that is able to use mask and substrate of diverse size, with PC controller using GUI interface instead of PLC control system. The existing PLC control system does not have the suitable structure for using mask of diverse size. GUI interface integration control system is based on PC. So it has the advantage of convenient use and active operation. We embodied PLC control system in integration control system based on PC, and verified utility possibility through the standard test course.