- FPD용 노광 스테이지의 통합 제어시스템 구현
- Implementation of Exposure Stage Integrated Control System for FPD
- ㆍ 저자명
- 김종원,서재용,조현찬,조태훈,강흥석,Kim. Jong-Won,Seo. Jae-Yong,Cho. Hyun-Chan,Cho. Tai-Hoon,Kang. Heung-Seok
- ㆍ 간행물명
- 반도체및디스플레이장비학회지
- ㆍ 권/호정보
- 2006년|5권 4호|pp.11-15 (5 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국반도체및디스플레이장비학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
