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CIGSe2 박막태양전지용 Mo 하부전극의 물리·전기적 특성 연구
최승훈, 박중진, 윤정오, 홍영호, 김인수, Choi. Seung-Hoon, Park. Joong-Jin, Yun. Jeong-Oh, Hong. Young-Ho, Kim. In-Soo 한국진공학회 韓國眞空學會誌 9 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2012, Vol.21 No.3 142-150 (9 pages)
CIGS 박막 태양전지 기판소재인 소다라임유리 표면에 플라즈마 전처리 후 DC 마그네트론 스퍼터링 방법으로 Mo 박막을 제조하였다. 증착압력과 증착시간 변화에 따른 Mo 박막의 물리적, 전기적 특성을 분석하였고, 셀렌화 처리 조건에 따른 $MoSe_2$ 생성 여부와 경향성을 연구하였으며, Mo 박막 두께에 따른 AZO/i-ZnO/CdS/CIGS/Mo/SLG 구조의 태양전지를 제조하여 그 특성을 분석 및 평가하였다. 증착압력이 4.9 mTorr에서 1.3 mTorr로 감소할수록 치밀하고 결정입자 사이의 공극이 적고, 증착속도가 감소하고 전기저항도가 낮은 Mo... -
Study on target erosion in rocking magnet sputtering system
Lee. Do-Sun, Kwon. Ui-Hui, Lee. Won-Jong 한국진공학회 韓國眞空學會誌 7 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2005, Vol.14 No.4 245-251 (7 pages)
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Mo-화합물의 확산방지막으로서의 성질에 관한 연구
김지형, 이용혁, 권용성, 염근영, 송종한 한국진공학회 韓國眞空學會誌 8 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 1997, Vol.6 No.2 143-150 (8 pages)
본 연구에서는 1000$AA$두께의 Molybdenum화합물(Mo, Mo-N,$MoSi_2$, Mo-Si-N)의 Cu에 대한 확산방지막으로서의 특성을 면저항측정장비(four-point-probe), XRD, XPS, SEM, RBS 분석을 통하여 조사하였다. 각 박막층은 dc magnetron sputtering장비를 이용하 여 증착되었고 $300^{circ}C$-$800^{circ}C$의 온도구간에서 30분동안 진공열처리하였다. Mo 및 $MoSi_2$ 방지 막은 낮은 온도에서 확산방지막으로서의 특성파괴를 보였다. 결정립계를 통한 Cu의 확산과 Mo-실리사이드내의 Si의 Cu와의 반응이 그 원인인 것으로 사료된다.... -
RF Magnetron 스퍼터링법으로 성장시킨 Ba($Zr_{0.2}Ti_{0.8}$)$O_3$ 박막의 특성
최원석, 장범식, 김진철, 박태석, 이준신, 홍병유 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 5 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2001, Vol.14 No.7 567-571 (5 pages)
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D.C magnetron sputter법으로 증착된 TiAlN의 중간층에 따른 특성연구
김명호, 이도재, 이광민, 김운섭, 김민기, 박범수, 양국현, Kim. Myoung-Ho, Lee. Doh-Jae, Lee. Kwang-Min, Kim. Woon-Sub, Kim. Min-Ki, Park. Burm-Su, Yang. Kook-Hyun 한국재료학회 한국재료학회지 6 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 2008, Vol.18 No.10 558-563 (6 pages)