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DC magnetron sputtering 방법으로 형성한 Indium-Tin-Oxide(ITO) 박막의 특성 연구
안명환, An. Myung-Hwan 한국해양정보통신학회 한국해양정보통신학회논문지 6 Pages
한국해양정보통신학회 한국해양정보통신학회논문지 2006, Vol.10 No.3 473-478 (6 pages)
DC 마그네트론 스퍼터링 방법으로 ITO 박막을 형성하였다. 박막 형성 시 스퍼터 전압을 변화시켜 음이온에 의한 손상을 최소화하였으며, 또한 기판온도와 산소유입량을 변화시켜 비저항 $1.6 imes10^{-4}{Omega}cm$, 광투과도 90% 이상의 값을 갖는 양질의 박막을 형성 할 수 있었다. 박막 형성 시 $O_2$ 가스의 유량이 4sccm 이상으로 산소공급이 과다할 경우는 ITO 박막의 비저항이 증가하고, 광 투과도가 포화됨을 알 수 있었다. -
Pulsed Magnetron Sputtering Deposit ion of DLC Films Part I : Low-Voltage Bias-Assisted Deposition
Oskomov. Konstantin V., Chun. Hui-Gon, You. Yong-Zoo, Lee. Jing-Hyuk, Kim. Kwang-Bok, Cho. Tong-Yul, Sochogov. Nikolay S., Zakharov. Al 한국표면공학회 한국표면공학회지 7 Pages
한국표면공학회 한국표면공학회지 2003, Vol.36 No.1 27-33 (7 pages)
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Effect of Ga-doping on the properties of ZnO films grown on glass substrate at room temperature by radio frequency magnetron sputtering
김금채, 이지수, 이수경, 김도현, 이성희, 문주호, 전민현, Kim. G.C., Lee. J.S., Lee. S.K., Kim. D.H., Lee. S.H., Moon. J.H., Jeon. M.H. 한국진공학회 韓國眞空學會誌 6 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2008, Vol.17 No.1 40-45 (6 pages)
유리기판 위에 약 500 nm 의 두께로 성장된 ZnO층의 구조적, 광학적, 전기적 성질에 미치는 갈륨도핑의 영향에 대하여 연구 하였다. 다결정 ZnO 와 GZO 층은 상온에서 radio frequency magnetron sputtering 법을 사용하여 성장되었다. 투과전자현미경 (TEM)과 x-ray 회절분석 (XRD)에 의하면, 갈륨이 도핑된 ZnO 박막의 결정성은 ZnO에 비하여 향상되었고 (002)방향을 따라 우선성장 되었음이 발견되었다. GZO 박막의 투과도는 가시광 영역에서 ZnO 박막에 비해 약 10% 정도 향상된 것으로 나타났다. PL 분석에 따르면, NBE emission...