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Preparation of ZnO Thin Films with UV Emission by Spin Coating and Low-temperature Heat-treatment
강보안, 정주현, Kang. Bo-An, Jeong. Ju-Hyun 한국안광학회 한국안광학회지 5 Pages
한국안광학회 한국안광학회지 2008, Vol.13 No.3 73-77 (5 pages)
목적: 본 논문은 저온열처리로 비결정 또는 결정 ZnO 박막의 UV emission 가능하다는 것이다. 방법: 화학적 용액법을 이용하여 소다-라임-실리카 유리 위에 100, 150, 200, 250 및 $300^{circ}C$로 열처리하여 비정질 및 나노 결정질 ZnO 박막을 제조하였으며, 박막의 성장 특성 및 광학적 특성을 X-선 회절 분석법, 자외선-가시광선-근적외선 분광법 및 발광분석법을 통하여 분석하였다. 결과: $100^{circ}C{sim}200^{circ}C$에서 60분간 열처리된 박막은 비정질 특성을 나타내고 있었으며, $250^{circ}C$ 및 $300^{circ}C$로 열처리된... -
Spin-coating에 의한 $Ge_{20}As_{20}Se_{60}$ 비정질 chalcogenide 박막의 제조 및 광특성 분석
이강구, 최세영 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 8 Pages
한국세라믹학회 한국세라믹학회지 2000, Vol.37 No.3 219-226 (8 pages)
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Wafer Spin Coating 공정에서 증발과 용액이 박막 형성에 미치는 영향에 관한 연구
노영미, 임익태, 김광선 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체장비학회지 5 Pages
한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체장비학회지 2003, Vol.2 No.1 25-29 (5 pages)
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Properties of ZnO:Al Films Prepared by Spin Coating of Aged Precursor Solution
Shrestha. Shankar Prasad, Ghimire. Rishi, Nakarmi. Jeevan Jyoti, Kim. Young-Sung, Shrestha. Sabita, Park. Chong-Yun, Boo. Jin-Hyo 대한화학회 Bulletin of the Korean Chemical Society 4 Pages
대한화학회 Bulletin of the Korean Chemical Society 2010, Vol.31 No.1 112-115 (4 pages)
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The Fabrication and Characteristics of the Pyroelectric IR Sensor using P(VDF/TrFE) Thin Films Fabricated by the Spin Coating Technique
Kwon. Sung-Yeol 대한전기학회 KIEE international transactions on electrophysics and applications 4 Pages
대한전기학회 KIEE international transactions on electrophysics and applications 2002, No.0 225-228 (4 pages)
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Spin-coating을 이용하여 Flexible Film에 제작된 ZnO TCO의 특성 분석
전민철, 이규탁, 박상욱, 이경주, 문병무, 조원주, 고중혁, Jun. Min-Chul, Lee. Ku-Tak, Park. Sang-Uk, Lee. Kyung-Ju, Moon. Byung-Moo, Cho. Won-Ju, Koh. Jung-Hyuk 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 4 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2012, Vol.25 No.4 290-293 (4 pages)
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Packing Density Parameters of Palladium Nanoparticle Monolayers Fabricated via Spin-Coating Electrostatic Self-Assembly
An. Minshi, Hong. Jong-Dal, Cho. Kyung-Sang, Lee. Eun-Sung, Choi. Jae-Young 대한화학회 Bulletin of the Korean Chemical Society 4 Pages
대한화학회 Bulletin of the Korean Chemical Society 2008, Vol.29 No.3 623-626 (4 pages)
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Spin-coating법에 의한 $TiO_2$의 광촉매 효율
김범준, 변동진, 이중기, 박달근, Kim. Beom-Jun, Byeon. Dong-Jin, Lee. Jung-Gi, Park. Dal-Geun 한국재료학회 한국재료학회지 6 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 2000, Vol.10 No.4 264-269 (6 pages)
$TiO_2$sol(30wt%, anatase)을 이용하여 스핀코팅으로 유리기판에 $TiO_2$박막을 제조하였다. 박막의 두께는 코팅주기의 횟수가 조절하였다. 한 코팅주기는 스핀코팅, 건조, 열처리를 포함한다. 박막의 반응성은 막 위에서의 자외선강도가 0.44와 2.mW/$ extrm{cm}^2$인 조건에서 벤젠기체의 광분해 속도를 통해 조사하였다. 박막의 두께가 증가할수록 표면적으로 증가로 인해 반응성은 증가하였으며, 0.44mW/$ extrm{cm}^2$일 때 4$mu extrm{m}$정도 이상의 두께에서 반응성은 더 이상 증가되지 않았다. porous한 $TiO_2$박막은 비교적... -
Spin-coating 공정에 의해 제조된 음극 지지형 고체산화물 연료전지
유지행, 이희락, 우상국, Yu. Ji-Haeng, Lee. Hee-Lak, Woo. Sang-Kuk 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 7 Pages
한국세라믹학회 한국세라믹학회지 2007, Vol.44 No.12 733-739 (7 pages)
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반도체 나노 패터닝 구현 재료: Spin 코팅 Hardmask용 유기실리콘 및 고탄소 물질
조현모, 전환승, 김상균, 장두원, 김종섭, Cho. Hyeon-Mo, Cheon. Hwan-Sung, Kim. Sang-Kyun, Chang. Tu-Won, Kim. Jong-Seob 한국고분자학회 고분자 과학과 기술 9 Pages
한국고분자학회 고분자 과학과 기술 2009, Vol.20 No.5 472-480 (9 pages)
반도체 미세화가 진행되면서, 이를 성공하기 위해 많은 재료물질이 요구되어진다. 이 중 미세 패턴의 붕괴를 막고 깊은 패턴을 새기기 위해서 필요한 hardmask 재료가 있다. Hardmask는 유기실리콘 재료와 탄소 함량이 높은 재료로 주로 구성되고, 이들은 193 nm 빛과 관련된 광학적 특성을 가지면서 특정 플라즈마에 대한 에치 저항성을 가지는 물성을 가지도록 디자인/합성/배합되어져 있다. 또한, 접합되는 다른 박막과의 compatibility및 용매에 대한 solubility 등이 적절해야만 나노미터 수준의 defect 없는 패턴을 구현할 수 있다. -
Indium Sulfide and Indium Oxide Thin Films Spin-Coated from Triethylammonium Indium Thioacetate Precursor for n-Channel Thin Film Transistor
Dao. Tung Duy, Jeong. Hyun-Dam 대한화학회 Bulletin of the Korean Chemical Society 4 Pages
대한화학회 Bulletin of the Korean Chemical Society 2014, Vol.35 No.11 3299-3302 (4 pages)
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Optoelectronic Characteristics of Transparent Cu2O Films Spin-coated on Glass Substrates
곽기열, 조경아, 김상식, Kwak. Ki-Yeol, Cho. Kyoung-Ah, Kim. Sang-Sig 대한전기학회 전기학회논문지= The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers 4 Pages
대한전기학회 전기학회논문지= The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers 2010, Vol.59 No.1 123-126 (4 pages)
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Plasma haptoglobin and immunoglobulins as diagnostic indicators of deoxynivalenol intoxication
Eun-Joo Kim, Sang-Hee Jeong, Joon-Hyoung Cho, Hyun-Ok Ku, Hyun-Mi Pyo, Hwan-Goo Kang, Kyoung-Ho Choi 대한수의학회 Journal of Veterinary Science 10 Pages
대한수의학회 Journal of Veterinary Science 2008, 제 9권 제 3호 5 257-266 (10 pages)
This study aimed to discover potential biomarkers for dioxynivalenol (DON) intoxication. B6C3F1 male mice were orally exposed to 0.83, 2.5 and 7.5 mg/kg body weight (bw) DON for 8 days and the differential protein expressions in their blood plasma were determined by SELDI - Time-of-Flight/ Mass Spectrometry (TOF/MS) and the immunoglobulins (Igs) G, A, M and E in the serum were investigated. 11.7 kDa protein was significantly highly expressed according to DON administration and this protein was... -
In Vivo Comparison of Calcium Metaphosphate Coated Implant with Machined and Plasma-Sprayed Hydroxyapatite Coated Implants Using Resonance Frequency Analysis and Histomorphometry
Yeo I. S, Jang J. Y, Yang J. H 대한치과이식임플란트학회 Journal of Dental Implant Research 2 Pages
대한치과이식임플란트학회 Journal of Dental Implant Research 2005, 제 24권 1호 7 32-33 (2 pages)
Introduction Purpose of this study was to test for the biocompatibility and histomorphometry of calcium metaphosphate (CMP) coated implant. Materials and Methods Screw-type titanium implants manufactured by machining (controls), plasma-sprayed hydroxyapatite (HA) coating and dip-spin CMP coating were placed in the tibiae of 20 New Zealand White rabbits. The bone responses were evaluated and compared by consecutive RFA and histomorphetry. -
Synthesis and characterization of carbon doped TiO₂ photocatalysts supported on stainless steel mesh by sol-gel method
JO. Tijani, OO. Fatoba, TC. Totito, WD. Roos, LF. Petrik 한국탄소학회 Carbon Letters 12 Pages
한국탄소학회 Carbon Letters 2017, Vol.22 6 48-59 (12 pages)
This study synthesized pure anatase carbon doped TiO₂ photocatalysts supported on a stainless steel mesh using a sol-gel solution of 8% polyacrylonitrile (PAN)/dimethylformamide (DMF)/TiCl₄. The influence of the pyrolysis temperature and holding time on the morphological characteristics, particle sizes and surface area of the prepared catalyst was investigated. The prepared catalysts were characterized by several analytical methods: high resolution scanning electron microscopy (HRSEM), energy... -
A review: role of interfacial adhesion between carbon blacks and elastomeric materials
Min-Joo Kang, Young-Jung Heo, Fan-Long Jin, Soo-Jin Park 한국탄소학회 Carbon Letters 10 Pages
한국탄소학회 Carbon Letters 2016, Vol.18 1 1-10 (10 pages)
Carbon blacks (CBs) have been widely used as reinforcing materials in advanced rubber composites. The mechanical properties of CB-reinforced rubber composites are mostly controlled by the extent of interfacial adhesion between the CBs and the rubber. Surface treatments are generally performed on CBs to introduce chemical functional groups on its surface. In this study, we review the effects of various surface treatment methods for CBs. In addition, the preparation and properties of CB-reinforced... -
Manufacturing and characteristics of PAN-based composite carbon fibers containing cellulose particles
Jee-Woo Yang, Da Young Jin, Ji Eun Lee, Seung Goo Lee, Won Ho Park 한국탄소학회 Carbon Letters 8 Pages
한국탄소학회 Carbon Letters 2015, Vol.16 No.3 7 203-210 (8 pages)
This study fabricated low thermal conductive polyacrylonitrile (PAN)-based carbon fibers containing cellulose particles while maintaining their mechanical properties. The high thermal conductivity of carbon fibers limits their application as a high temperature insulator in various systems such as an insulator for propulsion parts in aerospace or missile systems. By controlling process parameters such as the heat treatment temperature of the cellulose particles and the amount of cellulose added,... -
Carbon nanomaterials in organic photovoltaic cells
TaehoonKim, SeungJaeYang, ChongRaePark 한국탄소학회 Carbon Letters 13 Pages
한국탄소학회 Carbon Letters 2011, Vol.12 No.4 2 194-206 (13 pages)
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플라스틱기판 미세회로구조 제조를 위한 소프트 석판 기술의 적용
박민정, 주형규, 박진원, Park. Min-Jung, Ju. Heong-Kyu, Park. Jin-Won 한국화학공학회 Korean chemical engineering research 4 Pages
한국화학공학회 Korean chemical engineering research 2012, Vol.50 No.5 929-932 (4 pages)
미세구조 제조향 노광공정을 대신할 기반기술을 개발하고자 한다. 저가의 Polycarbonate 기판에 미세구조를 제조하기 위하여, Spin Coating으로 Polystyrene 박막을 형성하고 박막 위에 Polydimethylsiloxane 주형으로 소프트석판술을 적용하였다. 제조된 구조에 나노입자들을 배열하기 위해 계면작용을 이용하고자 하므로, 구조의 표면을 화학반응에 의해 소수성으로 개질하였다. 소수성으로의 개질은 Polystyrene 표면을 과망간칼륨으로 처리하고 Aminopropyltriethoxysilane을 반응시켜서 수행되었다. 개질된 특성은 X선광전자분광기로... -
스핀코팅 방법으로 제작된 ZnO 박막의 두께에 따른 구조적 및 광학적 특성
임광국, 김민수, 김군식, 최현영, 전수민, 조민영, 김형근, 이동율, 김진수, 김종수, 이주인, 임재영, Yim. Kwang-Gug, Kim. Min-Su, Kim. Ghun-Sik, Choi. Hyun-Young, Jeon. Su-Min, Cho. Min- 한국진공학회 韓國眞空學會誌 6 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2010, Vol.19 No.4 281-286 (6 pages)
스핀코팅 방법으로 제작된 ZnO 박막의 두께에 따른 구조적 및 광학적 특성에 관한 연구를 수행하였다. ZnO 박막의 두께가 두꺼워짐에 따라 줄무늬 모양의 폭과 밀도가 증가하고, 두께가 450 nm 일 때 줄무늬 모양은 사라지며 표면이 매끄러워졌다. ZnO 박막의 표면이 매끄러워졌을 때 orientation factor ${alpha}_{(002)}$가 급격히 증가하였고, (002) 회절 피크의 FWHM (full width at half maximum)는 감소하였다. ZnO 박막의 NBE (near-band edge emission) 피크의 위치는 두께와 표면 형태의 영향을 거의 받지 않았으나, 매끄러운... -
Plasma 처리한 유기 절연층을 갖는 유기 박막 트랜지스터의 전기적 특성 연구
김연주, 박재훈, 강성인, 최종선 한국진공학회 韓國眞空學會誌 4 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2004, Vol.13 No.3 99-102 (4 pages)
트랜지스터의 특성 향상을 위해 절연층 표면에 Ar플라즈마 처리를 하였다. 플라즈마 처리는 절연체 표면의 화학적, 물리적 특성 변화를 통해 그 후에 이어지는 활성층 성막시 분자들의 결정성을 향상시키기 위한 방법이다. 활성층으로 사용된 물질은 pentacene이며, 절연층으로 사용된 물질은 PVP(poly-vinyl-phenol)이다. Pentacene는 약 $10^{-6}$ Torr에서 0.5 $AA$/sec의 속도로, PVP는 spin coating법에 의해 각각 성막되었다. 형성된 절연층을 일정 시간동안 H플라즈마 처리 한 후 각 소자의 전기적 특성을 측정하여 표면처리에 의한... -
Hybrid Sol을 이용한 박막 유전체 제작
김용석, 유원희, 장병규, 오용수, Kim. Yong-Suk, Yoo. Won-Hee, Chang. Byeung-Gyu, Oh. Yong-Soo 한국재료학회 한국재료학회지 7 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 2007, Vol.17 No.4 185-191 (7 pages)
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GaOOH 선구체의 스핀코팅에 의한 GaN 박막의 성장
이재범, 김선태, Lee. Jae-Bum, Kim. Seon-Tai 한국재료학회 한국재료학회지 5 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 2007, Vol.17 No.1 1-5 (5 pages)
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PZT/LSMO/Pt에 대한 펄스레이저 및 졸겔법에 의한 증착연구
최강룡, 심인보, 김철성, Choi. Kang-Ryong, Shim. In-Bo, Kim. Chul-Sung 한국자기학회 韓國磁氣學會誌 4 Pages
한국자기학회 韓國磁氣學會誌 2005, Vol.15 No.1 21-24 (4 pages)
타겟을 이용하여 248nm의 파장을 갖는 KrF 엑시머 레이저를 사용한 PLD법으로 박막으 제작하고, 강유전체 물질인 $PbZr_{0.52}Ti_{0.48}O_{3}$ 물질을 spin coating 방법으로 제조하였다. Pt 기관(111)위에 125 mtorr의 산소분압으로 증착한 rhombohedral 구조를 갖는 LSMO 박막을 증착하고 그 위에 PZT 물질을 증착한 결과 LSMO, PZT en 물질 모두 단일상으로 [111]방향으로서의 성장하였음을 알 수 있었다. AFM(atomic force micrscope) data 및 SEM(scanning electron microscope) data를 바탕으로 매우 균질한 박막을 얻었음을 알 수... -
스핀 코팅에서의 액막의 흐름
김태성, Kim. Tae-sung 한국액체미립화학회 한국액체미립화학회지 9 Pages
한국액체미립화학회 한국액체미립화학회지 2013, Vol.18 No.3 146-154 (9 pages)
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Ti-naphthenate를 이용하여 제조한 광감응성 TiO2 박막의 광학적 및 구조적 특성
임용무, 정주현, 황규석, Lim. Yong-Moo, Jung. Ju-Hyun, Hwang. Kyu-Seog 한국안광학회 한국안광학회지 7 Pages
한국안광학회 한국안광학회지 2005, Vol.10 No.3 185-191 (7 pages)
Ti-naphthenate를 출발물질로 사용하여 스핀코팅으로 soda-lime-silica 유리에 $TiO_2$ 박막을 제조하였다. $500^{circ}C$에서 $600^{circ}C$의 열처리온도에 따라 제조된 악악의 광학적, 구조적 및 광촉매 특성을 측정하였다. 재조된 $TiO_2$박막의 투과율은 가시광선 영역에서 약 80%정도의 평균투과율을 보였고, 열처리 온도가 높아짐에 따라 흡수밴드가 낮은 UV 파장영역으로 편향하였으며, 전체 광투과율은 소폭 감소하는 경향을 나타냈다. $TiO_2$ 박막의 열처리 온도가 높아짐에 따라 굴절률은 2.16에서 2.63으로 증가하였고,... -
UV노광 공정 도입이 Sol-gel 법으로 제조된 Sr0.9Bi2.1Ta2O9박막의 결정화에 미치는 영향
최병옥, 김병호 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 7 Pages
한국세라믹학회 한국세라믹학회지 2003, Vol.40 No.2 184-190 (7 pages)
광감응성 sol-gel 용액을 사용하여 spin coating법으로 $IrO_2$전극 위에 $Sr_{0.9}$$Bi_{2.1}$$Ta_2$$O_{9}$ 박막을 성막하였다. UV 노광이 SBT 박막에 어떤 영향을 미치는지 알아보기 위해 UV 노광을 한 시편과 하지 않은 시편을 XRD 및 SEM로 분석한 결과 UV 노광이 SBT 결정성장을 촉진함을 확인할 수 있었다. UV 노광을 하고 $740^{circ}C$ 산소분위기에서 1시간 로열처리 한 SBT 박막의 경우 2Pr 값은 5V 인가전압하에서 11.48$mu$C/$ extrm{cm}^2$, Pr/Ps 값은 0.53이었고 660-$740^{circ}C$에서 UV 노광을 하지 않은 시편에 비해... -
Self-patterning 기술을 이용한 강유전체 메모리 전극용La0.5Sr0.5CoO3박막의 제조에 관한 연구
손현수, 김병호 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 6 Pages
한국세라믹학회 한국세라믹학회지 2003, Vol.40 No.2 153-158 (6 pages)
장점을 가지고 있다. 이 연구에서는 강유전성 메모리소자의 산화물 전극재료로 사용되고 있는 La$_{0.5}$Sr$_{0.5}$CoO$_3$(LSCO)극 photosensitive sol solution을 이용하여 spin coating법으로 제조하였으며 출발원료는 La-2methoxyethoxide, Sr-ethoxide, Co-2methoxyethoxide를 사용하였다. LSCO gel 박막에 UV 노광시간을 증가시킴에 따라 M(metal)-O-M 결합이 생성되면서 metal $eta$-diketonate의 UV 흡수 피크 강도는 감소되었고 LSCO gel 박막에 UV조사에 따른 용해도 차이가 생기면서 fine patterning 을 얻을 수 있었다.... -
Sol-gel Self-patterning 기술을 이용한 광감응성 Sr0.9Bi2.1Ta2O9 박막의 제조기술에 관한 연구
양기호, 박태호, 임태영, 오근호, 김병호, Yang. Ki-Ho, Park. Tae-Ho, Lim. Tae-Young, Auh. Keon-Ho, Kim. Byong-Ho 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 8 Pages
한국세라믹학회 한국세라믹학회지 2002, Vol.39 No.8 750-757 (8 pages)
연구에서는 photosensitive sol solution을 이용하여 spin coating법에 의해 $Sr_{0.9}Bi_{2.1}Ta_2O_9$의 조성을 갖는 강유전체 박막을 제조하였으며 출발원료는 $Sr(OC_2H_5)_2,;Bi(TMHD)_3$와 $Ta(OC_2H_5)_5$를 사용하였다. SBT 박막에 UV 노광시간을 증가시킴에 따라 M-O-M 결합이 생성되면서 metal ${eta}$-diketonate의 UV 흡수 피크 강도는 감소되었고 SBT 박막에 UV 조사에 따른 용해도 차이가 생기면서 fine patterning을 얻을 수 있었다. 또한 UV가 조사된 SBT 박막의 강유전 특성이 UV가 조사되지 않은 것보다 우수하였다. -
졸-겔 코팅에 의한 저온형 고체산화물 연료저지용 전해질막의 합성 및 특성
현상훈, 김승구, 장운석 한국세라믹학회 요업학회지 12 Pages
한국세라믹학회 요업학회지 1999, Vol.36 No.4 391-402 (12 pages)
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동결건조에 의한 극저유전성 실리카 에어로겔 박막 합성공정 개발
현상훈, 김태영 한국세라믹학회 요업학회지 12 Pages
한국세라믹학회 요업학회지 1999, Vol.36 No.3 307-318 (12 pages)
동결건조법에 의한 저유전성 실리카 박막의 제조공정 개발 및 층간 절연물질로의 응용성이 연구되었다. 코팅용 폴리머 실리카 졸은 TEOS와 이소프로판올(iso-propanol:IPA)또는 터트부탄올(tert-butanol:TBA)을 용매로한 2단계 공정에 의하여 제조되었으며, 이들 졸을 p-Si(111)웨이퍼 상에 스핀코팅한 습윤겔 박막을 동결건조 하여 다공성 실리카 박막을 제조하였다. 균일한 박막 코팅층을 얻을 수 있는 실리카 졸의 최적 점도범위는 IPA와 TBA를 용매로 한 실리카 졸의 경우 각각 10~14 cP와 20~30cP 정도였으며 스핀속도는 2000 rpm...
