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LCD 공정용 C3F6 가스를 이용한 Si3N4 박막 식각공정 및 배출가스에 관한 연구
전성찬, 공대영, 표대승, 최호윤, 조찬섭, 김봉환, 이종현, Jeon. S.C., Kong. D.Y., Pyo. D.S., Choi. H.Y., Cho. C.S., Kim. B.H., Lee. J.H. 한국진공학회 韓國眞空學會誌 6 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2012, Vol.21 No.4 199-204 (6 pages)
$SF_6$ 가스는 반도체 및 디스플레이 제조공정 중 건식식각 공정에서 널리 사용되는 가스이다. 하지만 $SF_6$ 가스는 대표적인 온실가스로서 지구 온난화에 큰 영향을 끼치기 때문에 반도체 및 디스플레이 공정에서 $SF_6$ 가스를 대체할 수 있는 가스의 연구가 필요한 상황이다. 그 후보군으로 떠오르고 있는 가스 중의 하나가 바로 $C_3F_6$ 가스이다. 이 가스를 이용하여 $Si_3N_4$ 박막을 건식식각 방법인 Reactive Ion Etching 공정을 수행하여 식각 특성에 관하여 연구하였으며, 흡착제 Zeolite 5A를 이용하여 식각공정 중 배출되는... -
Si3N4-코팅 유/무기 복합 분리막을 통한 리튬이온전지용 분리막의 제조 및 평가
여승훈, 손화영, 서명수, 노태욱, 김규철, 김현일, 이호춘, Yeo. Seung-Hun, Son. Hwa-Young, Seo. Myeong-Su, Roh. Tae-Wook, Kim. Gyu-Chul, Kim. Hyun-Il, Lee. Ho-Chun 한국전기화학회 전기화학회지 6 Pages
한국전기화학회 전기화학회지 2012, Vol.15 No.1 48-53 (6 pages)
리튬 이차전지의 대표적인 분리막인 polyethylene(PE) 분리막은 열에 의한 수축 및 기계적 파열의 단점을 가지고 있다. 본 연구에서는 이러한 기존 PE 분리막을 개선하기 위해 $Si_3N_4$ 코팅 분리막 (SCS, Silicon-nitride Coated Separator)을 제작하였다. $Si_3N_4$ 코팅이 분리막의 열적/기계적 수치안정성, 이온전도도, 및 전지의 출력 특성에 미치는 영향을 알아보았다. $Si_3N_4$ 분말을 polyvinylidene fluoride(PVdF) 결착재를 이용하여 PE 분리막의 한 쪽 면에 10 ${mu}m$ 두께로 코팅하여 SCS를 제작하였다. SCS는 PE... -
Si3N4/SnZnO/AZO/Ag/Ti/ITO 다층 박막의 적층 횟수에 따른 광학적 특성
이상윤, 장건익, Lee. Sang-Yun, Jang. Gun-Eik 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 5 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2015, Vol.28 No.1 7-11 (5 pages)
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TSV 웨이퍼 공정용 Si3N4 후막 스트레스에 대한 공정특성 분석
강동현, 구중모, 고영돈, 홍상진, Kang. Dong Hyun, Gu. Jung Mo, Ko. Young-Don, Hong. Sang Jeen 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 4 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2014, Vol.27 No.3 137-140 (4 pages)
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TiO2/Si3N4/Ag/Si3N4/TiO2 다층구조에서 Si3N4 버퍼층이 투과율에 미치는 영향
이서희, 장건익, Lee. Seo-Hee, Jang. Gun-Eik 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 4 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2012, Vol.25 No.1 44-47 (4 pages)
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Si3N4 박막의 유기발광소자 수분침투 방지막으로의 응용
김창조, 신백균, Kim. Chang-Jo, Shin. Paik-Kyun 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 6 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2010, Vol.23 No.5 397-402 (6 pages)
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비휘발성 메모리를 위한 SiO2와 Si3N4가 대칭적으로 적층된 터널링 절연막의 전기적 특성과 열처리를 통한 특성 개선효과
김민수, 정명호, 김관수, 박군호, 정종완, 정홍배, 이영희, 조원주, Kim. Min-Soo, Jung. Myung-Ho, Kim. Kwan-Su, Park. Goon-Ho, Jung. Jong-Wan, Chung. Hong-Bay, Lee. Young 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 4 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2009, Vol.22 No.5 386-389 (4 pages)
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SiO2/Si3N4 터널 절연악의 적층구조에 따른 비휘발성 메모리 소자의 특성 고찰
조원주, Cho. Won-Ju 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 5 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2009, Vol.22 No.1 17-21 (5 pages)
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RF 마그네트론 코스퍼터링을 이용한 Si3N4 매트릭스 내부의 실리콘 양자점 제조연구
하린, 김신호, 이현주, 박영빈, 이정철, 배종성, 김양도, Ha. Rin, Kim. Shin-Ho, Lee. Hyun-Ju, Park. Young-Bin, Lee. Jung-Chul, Bae. Jong-Seong, Kim. Yang-Do 한국재료학회 한국재료학회지 5 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 2010, Vol.20 No.11 606-610 (5 pages)
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MgO/Al2O3가 소결조제로 첨가된 Si3N4 세라믹스의 수열 조건에서의 부식열화 거동
김원주, 강석민, 박지연, Kim. Weon-Ju, Kang. Seok-Min, Park. Ji-Yeon 한국재료학회 한국재료학회지 5 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 2007, Vol.17 No.7 366-370 (5 pages)
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Si3N4/SiC 복합 세라믹의 온도에 따른 크랙 힐링 관찰과 확산거동
송오성, 안도 코토지, 다카하시 코지, 나가오 와타루, 류지호, Song. Oh-Sung, Ando. Kotoji, Takahashi. Koji, Nakao. Wataru, Ryu. Ji-Ho 한국재료학회 한국재료학회지 6 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 2005, Vol.15 No.12 780-785 (6 pages)
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전기로를 이용한 Si || SiO2/Si3N4 || Si 이종기판쌍의 직접접합
이상현, 이상돈, 서태윤, 송오성, Lee. Sang-Hyeon, Lee. Sang-Don, Seo. Tae-Yun, Song. O-Seong 한국재료학회 한국재료학회지 4 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 2002, Vol.12 No.2 117-120 (4 pages)
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사점굽힘시험법을 이용한 이종절연막 (Si/SiO2||Si3N4/Si) SOI 기판쌍의 접합강도 연구
이상현, 송오성, Lee. Sang-Hyeon, Song. O-Seong 한국재료학회 한국재료학회지 5 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 2002, Vol.12 No.6 508-512 (5 pages)
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Si3N4장벽층을 이용한 경사형 모서리 접합의 터널링 자기저항 특성
김영일, 황도근, 이상석, Kim. Young-Ii, Hwang. Do-Guwn, Lee. Sang-Suk 한국자기학회 韓國磁氣學會誌 5 Pages
한국자기학회 韓國磁氣學會誌 2002, Vol.12 No.6 201-205 (5 pages)
경사형 모서리접합을 이용한 터널링 자기저항(tunneling magnetoresistance; TMR) 특성을 연구하였다. 박막 증착과 식각은 스퍼터링과 사이크로트론 전자공명 (electron cyclotron resonance; ECR) 장치를 각각 사용하였다. Si$_3$N$_4$ 장벽층을 이용한 접합의 다층구조는 NiO(60)/Co(10)/NiO(60)/Si$_3$N$_4$(2-6)/NiFe(10) (nm)이었다. 상하부 반강자성체 NiO에 삽입된 wedged 형태의 고정층 Co와 장벽층 Si$_3$N$_4$위에 경사진 비대칭 구조에서 자유층 NiFe간의 접합에서 일어나는 특이한 스핀의존 터널링 현상이 관찰되었다.... -
Si-Al-SiO2-NH4F(β-Si3N4)계에서 연소반응에 의한 β-SiAlON분말의 제조
민현홍, 신창윤, 원창환, Min. Hyun-Hong, Shin. Chang-Yun, Won. Chang-Whan 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 6 Pages
한국세라믹학회 한국세라믹학회지 2006, Vol.43 No.10 595-600 (6 pages)
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Nitrided Pressureless Sintering에 의해 제조된 Si3N4의 산화거동
한인성, 천승호, 정용희, 서두원, 이시우, 홍기석, 우상국, Han. In-Sub, Cheon. Sung-Ho, Jung. Yong-Hee, Seo. Doo-Won, Lee. Shi-Woo, Hong. Kee-Soeg, Woo. Sang-Kuk 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 7 Pages
한국세라믹학회 한국세라믹학회지 2005, Vol.42 No.1 62-68 (7 pages)
질화상압동시소결(NPS) 공정에 의해 제조된 기공율이 다른 질화규소 소결체에 대해 $1300^{circ}C$ 순산소 가스분위기에서 산화거동을 조사하였다. 질화규소 세라믹스 표면에 형성된 산화층의 두께는 산화 시간과 온도에 따라 증가되었으며, $1300^{circ}C$에서 100시간 산화시킨 5A5Y5Si와 5A5Y10Si 시편의 산화층 두께는 각각 10$mu$m와 20$mu$m이었다. 5A5YSi와 5A5Y10Si 시편의 산화는 각각 215kJ/mol과 104kJ/mol의 활성화 에너지를 갖고 포물선적 거동을 나타내었다. $1300^{circ}C$에서 500시간 산화시킨 후, 5A5Y5Si 시편에 대해... -
조대 Si입자분말을 사용한 질화반응 Si3N4의 치밀화 거동
이주신, 문지훈, 한병동, 박동수, 김해두 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 6 Pages
한국세라믹학회 한국세라믹학회지 2002, Vol.39 No.1 45-50 (6 pages)
평균입경 25$mu m$의 Si조대분말에 소결조제의 조성과 양을 변화시켜 질화반응 질화규소 (RBSN)세라믹스를 제조할 때 나타나는 치밀화 거동, 미세구조의 발달 및 기계적 특성에 대하여 고찰하였다. 6wt% $Y_2O_3$ + 1wt% $Al_2O_3$(6YlA)의 소결조제를 첨가한 경우에는 치밀화를 이루지 못하였으나, 6wt% $Y_2O_3+3;wt%;Al_2O_3+2;wt%;SiO_2(6Y3A2S)$와 9wt% $Y_2O_3$+1.5wt% $A1_2O_3$+ 3w% $SiO_2$(9Yl.5A3S)의 소결조제를 첨가하여 이론밀도에 가까운 치밀화를 이루었다. $1900^{circ}C$에서 소결한 6Y3A2S시편의 경우, 960MPa의 높은... -
Ni buffer layer를 사용한 Si3N4/S.S316 접합체에서 접합계면의 미세구조 변화가 접합체의 기계적 특성에 미치는 영향
장희석, 박상환, 권혁보, 최성철 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 7 Pages
한국세라믹학회 한국세라믹학회지 2000, Vol.37 No.4 381-387 (7 pages)
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알콕사이드로부터 Si-Al-O-N계 분말합성 II. 알콕사이드로부터 합성한 Si3N4 및 $eta$-Sialon의 분말 및 소결체의 특성
이홍림, 전명철 한국세라믹학회 요업학회지 9 Pages
한국세라믹학회 요업학회지 1989, Vol.26 No.2 201-209 (9 pages)
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Si3N4의 슬립물성과 Slip Cast Si3N4의 미세구조에 관한 연구
박정현, 김진숙, 박한수 한국세라믹학회 요업학회지 8 Pages
한국세라믹학회 요업학회지 1988, Vol.25 No.6 615-622 (8 pages)
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알콕사이드로부터 Si-Al-O-N계 분말합성 I. 알콕사이드로부터 Si3N4와 $eta$-Sialon 초미분말 합성
이홍림, 유영창 한국세라믹학회 요업학회지 10 Pages
한국세라믹학회 요업학회지 1987, Vol.24 No.1 23-32 (10 pages)
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Low Temperature Fireable Borosilicate/Si3N4 Microcomposite Substrates
박인용 한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징 학회지 8 Pages
한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징 학회지 1996, Vol.3 No.1 49-56 (8 pages)
상수와 저온 소성이 가능한 기판 재료의 제조를 위해 sol-gel법으로 borosilicate/Si3N4 Microcomposite 분말을 합성하였다. Microcomposite 분말의 조성은 borosilicate/Si3N4의 부피비로 50/50, 60/40 및 70/30을 선택하였다. Microcomposite의 성형 체는 건식가압법으로 성형하여 700~100$0^{circ}C$에서 2시간 동안 소결하였다. Microcomposite 의 미세구조는 SEM과 TEM으로 관찰하였고 소결체의 유전 상수와 밀도를 측정하였다. Microcomposite은 85$0^{circ}C$ 근처에서 치밀화가 일어나고 유전상수는 약... -
SiO2 나노 콜로이드 량이 다른 Si3N4의 열처리에 따른 마모 특성
안석환, 남기우, Ahn. Seok Hwan, Nam. Ki Woo 대한기계학회 大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of mechanical engineers. A. A 7 Pages
대한기계학회 大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of mechanical engineers. A. A 2014, Vol.38 No.10 1117-1123 (7 pages)
본 연구는 균열 치유 물질로 알려진 $SiO_2$ 나노 콜로이드의 첨가량을 달리한 $Si_3N_4$를 소결하여, 경면 연마한 시험편 표면에 $SiO_2$ 나노 콜로이드를 코팅하여 1273 K, 공기중에서 1시간 균열치유 처리하였다. 그 후, 마모시험편은 1073, 1273 및 1573 K에서 10분간 열처리하여 시험을 실시하였다. $SiO_2$ 나노 콜로이드를 코팅하여 열처리한 표면은 무코팅 표면보다 약간 거칠게 나타났으며, 열처리 온도에 따라 표면의 산화 정도는 조도와 뚜렷한 상관관계는 가지지 않았다. 그리고 마찰계수, 마모손실 및 굽힘강도는 표면... -
균열 길이와 코팅방법에 따른 Si3N4의 균열 치유 특성
남기우, 문창권, 박상현, 은경기, 김종순, Nam. Ki-Woo, Moon. Chang-Kwon, Park. Sang-Hyun, Eun. Kyung-Ki, Kim. Jong-Soon 대한기계학회 大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of mechanical engineers. A. A 6 Pages
대한기계학회 大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of mechanical engineers. A. A 2010, Vol.34 No.11 1715-1720 (6 pages)
본 연구에서는 장균열을 가지는 Si3N4 세라믹스의 균열 길이와 코팅 방법에 따르는 균열 치유 특성을 규명하였다. 약 $100{sim}500;{mu}m$의 균열 길이는 24.5 ~ 98 N의 하중을 사용하여 비커스 압자를 이용하여 만들었다. 24.5 N의 하중으로 만든 단균열의 경우, $SiO_2$ 나노 콜로이드 코팅된 균열재는 모재보다 약 140 % 증가한 가장 높은 굽힘 강도를 보였지만, 장균열은 모재보다 낮은 굽힘 강도를 나타내었다. 그러나 대부분의 장균열 시험편의 굽힘 강도는 균열재보다 약간 증가하였다. 이러한 결과에 따라서, 복수 압입에 의한... -
SiO2 콜로이달에 의한 Si3N4 복합 세라믹스의 상온굽힘강도 및 균열치유 현상
남기우, 김종순, 이희방, Nam. K.W., Kim. J.S., Lee. H.B. 대한기계학회 大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of mechanical engineers. A. A 6 Pages
대한기계학회 大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of mechanical engineers. A. A 2009, Vol.33 No.7 652-657 (6 pages)
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Si3N4 세라믹스의 균열 치유와 굽힘 강도 특성
남기우, 박승원, 도재윤, 안석환, Nam. Ki-Woo, Park. Seung-Won, Do. Jae-Youn, Ahn. Seok-Hwan 대한기계학회 大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of mechanical engineers. A. A 6 Pages
대한기계학회 大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of mechanical engineers. A. A 2008, Vol.32 No.11 957-962 (6 pages)
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유전체(Si3N4/SiO2/Si3N4)멤브레인 위에 제작된 크로멜-알루멜 열전 유량센서
이형주, 김진섭, 김여환, 이정희, 최용문, 박세일, Lee. Hyung-Ju, Kim. Jin-Sup, Kim. Yeo-Hwan, Lee. Jung-Hee, Choi. Yong-Moon, Park. Se-Il 한국센서학회 센서학회지 9 Pages
한국센서학회 센서학회지 2003, Vol.12 No.3 103-111 (9 pages)
$Si_3N_4/SiO_2/Si_3N_4$ 열차단막을 이용한 크로멜-알루멜(chromel-alumel) 열전(thermoelectric) 유량센서를 제작하였다. 백금 박막 히터의 저항온도계수는 약 $0.00397/^{circ}C$이었고, 크로멜-알루멜 열전쌍(thermocouple)의 Seebeck 계수는 약 $36;{mu}V/K$이었다. 기체의 열전도도가 증가할수록 유량센서가 나타내는 열기전력은 감소하였으며, 히터의 온도가 증가하거나 히터와 열전쌍 사이의 간격이 감소할수록 유량센서의 $N_2$ 유량에 대한 감도는 증가하였다. 히터 전압을 약 2.5 V로 하였을 때 유량센서의 $N_2$ 유량에 대한... -
용융염계에서 자전연소합성법에 의한 α-Si3N4 분말의 제조 (Part 3. 반응기구)
윤기석, 양범석, 박영철, 원창환, Yun. Ki-Seok, Yang. Beom-Seok, Park. Young-Cheol, Won. Chang-Whan 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 8 Pages
한국세라믹학회 한국세라믹학회지 2004, Vol.41 No.12 907-914 (8 pages)
[ $Si-NaCl-NH_4Cl-NaN_3$ ]계에서 자전연소에 의한 Si의 질화반응기구에 대하여 알아보았다. 희석제로서 첨가된 NaCl은 질화반응 초기에 Si의 용융에 따른 Si의 성장을 억제하여 완전한 질화반응에 도움을 주는 것으로 나타났다. 또한 $NH_{4}Cl$과 $NaN_3$는 반응과정 동안 서로 분해하고 결합하여 생성물로서 NaCl을 형성하였고, 이 과정에서의 발열반응은 시편을 예열함으로써 질화반응에 도움을 주었다. 본 반응계에서 주된 질화반응기구는 액상-기상 반응기구였다. 그리고 ${alpha}-Si_{3}N_4$의 제조를 위한 최적의 펠렛 기공도는... -
용융염계에서 자전연소합성법에 의한 α-Si3N4분말의 제조 - Part 1.분말의 합성
윤기석, 이종현, 원창환, 정헌생 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 8 Pages
한국세라믹학회 한국세라믹학회지 2004, Vol.41 No.3 235-242 (8 pages)
원재료로서 Si, NH$_4$Cl, NaN$_3$, NaCl을 사용하고 SHS법을 이용하여 $alpha$-Si$_3$N$_4$ 분말을 제조하였다. NH$_4$Cl과 NaN$_3$는 첨가제로서, NaCl은 희석제로서 사용되었고 반응기내 최초 $N_2$ 압력은 60 atm이었다. $alpha$-Si$_3$N$_4$분말을 제조함에 있어, 첨가제의 종류와 조성, 희석제의 첨가량에 따른 반응성 및 생성물의 특성을 조사하였는데, 우선 $alpha$-Si$_3$N$_4$ 분말의 제조를 위한 최적의 반응계를 조사하였고, 최적의 반응계에서 최적의 조성을 확립하였다. 최적의 반응계는... -
연속다공질 SiC-Si3N4 복합체의 미세구조 및 기계적 특성
이희정, 장희동, 이병택, Lee. Hee-Jung, Jang. Hee-Dong, Lee. Byong-Taek 한국재료학회 한국재료학회지 5 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 2006, Vol.16 No.3 188-192 (5 pages)
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폐 SiC 슬러지를 이용하여 제조한 연속다공질 SiC-Si3N4 복합체의 미세조직
이희정, 장희동, 이병택, Lee. Hee-Jung, Jang. Hee-Dong, Lee. Byong-Taek 한국재료학회 한국재료학회지 6 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 2005, Vol.15 No.3 177-182 (6 pages)
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반응소결된 Si3N4-SiO2-BN 복합체의 기계적 강도 및 유전물성에 관한 연구
이현민, 이승준, 백승수, 김도경, Lee. Hyun Min, Lee. Seung Jun, Baek. Seungsu, Kim. Do Kyung 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 6 Pages
한국세라믹학회 한국세라믹학회지 2014, Vol.51 No.5 386-391 (6 pages)
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출발 SiC 입자 크기가 Si3N4-Bonded SiC 세라믹스의 질화율과 강도에 미치는 영향
최영훈, 김영욱, 우상국, 한인섭, Choi. Young-Hoon, Kim. Young-Wook, Woo. Sang-Kuk, Han. In-Sub 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 6 Pages
한국세라믹학회 한국세라믹학회지 2010, Vol.47 No.2 157-162 (6 pages)
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Hybrid Plasma Processing에 의한 Si3N4-SiC계 미립자의 합성과정 제어
한국세라믹학회 요업학회지 1992, Vol.29 No.9 681-688 (8 pages)
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상압소결 Si3N4-TiN 복합재료의 기계적성질
송진수, 손용배, 김종희 한국세라믹학회 요업학회지 7 Pages
한국세라믹학회 요업학회지 1989, Vol.26 No.3 409-415 (7 pages)
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Si3N4-Y2O3-Al2O3계의 입계상 결정화에 관한 연구
박정현, 황종희 한국세라믹학회 요업학회지 8 Pages
한국세라믹학회 요업학회지 1989, Vol.26 No.1 13-20 (8 pages)
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텅스텐 카바이드 공구를 사용한 앤드밀 가공에서 Si3n4-hBN 머시너블 세라믹스의 표면특성과 공구마멸
장성민, 조명우, Jang. Sung-Min, Cho. Myeong-Woo 한국기계가공학회 한국기계가공학회지 7 Pages
한국기계가공학회 한국기계가공학회지 2004, Vol.3 No.1 15-21 (7 pages)
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고온 내화물 응용을 위한 질화규소철 (Ferro-Si3N4)의 분해거동
최도문, 이진석, 최성철, Choi. Do-Mun, Lee. Jin-Seok, Choi. Sung-Churl 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 6 Pages
한국세라믹학회 한국세라믹학회지 2006, Vol.43 No.9 582-587 (6 pages)
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금속간화합물(Ni-Al계)의 기계적 특성 및 내산화성
성기웅 한국열환경공학회 한국열환경공학회 학술대회지 3 Pages
한국열환경공학회 한국열환경공학회 학술대회지 2016년 춘계 32 118-120 (3 pages)
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마이크로파 가열을 이용한 β-SiC 분말 합성
허석, 김수룡, 김영희, 권우택 한국열환경공학회 열환경공학 6 Pages
한국열환경공학회 열환경공학 2016, 제 13권 1호 6 39-44 (6 pages)
